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半導(dǎo)體晶圓測試高低溫機：光刻工藝±0.1℃潔凈控溫

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10 99999.00元/臺
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第1年

邁浦特機械（四川）有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌MAIPT邁浦特型號150A低壓
產(chǎn)品用途芯片光刻冷卻,晶圓鍵合溫度控制,蝕刻反應(yīng)熱管理產(chǎn)品別名高低溫循環(huán)控制機,冷熱切換高低溫高低溫一體機
適用行業(yè)化工,制藥,新能源材料合成,石油,橡膠,樹脂反應(yīng)規(guī)格尺寸溫度范圍-70℃~200℃,控溫精度,0.1℃
產(chǎn)地江蘇蘇州

產(chǎn)品詳情

邁浦特機械高低溫一體機針對半導(dǎo)體晶圓制造開發(fā)，整合三通道熱管理架構(gòu)：

  • 潔凈循環(huán)系統(tǒng)：全管路EP級拋光，導(dǎo)熱介質(zhì)經(jīng)0.1μm過濾，杜絕顆粒污染；
  • 相變緩沖技術(shù)：蒸發(fā)器內(nèi)填充石蠟PCM（相變潛熱250kJ/kg），吸收±0.2℃瞬時波動
    10
    ；
  • 冷熱物理隔離：制冷單元與加熱單元分離布局，避免相互干擾。
    ±0.1℃精度核心技術(shù)：
  • MPC模型預(yù)測控制：建立壓縮機、閥門、負(fù)載的熱力學(xué)模型，滾動優(yōu)化功率輸出；
  • 冗余雙循環(huán)泵：主泵故障時0.1秒切換備用泵，流量波動＜1%；
    在MOCVD鍍膜工藝中，晶圓表面溫差≤0.08℃，LED外延片良率提升15%

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