產(chǎn)品詳情
邁浦特機械高低溫一體機本設(shè)備采用復疊壓縮制冷+電熱絲加熱雙模協(xié)同技術(shù)。制冷循環(huán)中，高溫級壓縮機將R410A壓縮至高壓氣體，經(jīng)冷凝器散熱液化后進入膨脹閥節(jié)流，低溫級R508B壓縮機接力降溫至-80℃；加熱系統(tǒng)通過鎳鉻合金電熱絲直接加熱導熱油，PID算法動態(tài)調(diào)節(jié)功率輸出。核心控溫邏輯基于實時溫度反饋：PT100傳感器每0.5秒采集晶圓承載臺溫度數(shù)據(jù)，控制系統(tǒng)對比設(shè)定值后，通過調(diào)節(jié)制冷劑流量閥開度與加熱器功率，實現(xiàn)±0.1℃精度控溫。
密閉循環(huán)系統(tǒng)采用雙隔離設(shè)計：主循環(huán)管路與膨脹槽物理分離，膨脹槽內(nèi)介質(zhì)常溫儲存（≤60℃），隔絕高溫氧化與低溫吸濕風險。磁力驅(qū)動泵推動導熱油經(jīng)板式換熱器快速換熱，熱回收模塊將高溫余熱用于低溫預冷，能耗降低30%。設(shè)備兼容晶圓廠自動化產(chǎn)線，可通過SECS/GEM協(xié)議與MES系統(tǒng)聯(lián)動，自動生成溫度應力測試報告
