產(chǎn)品詳情
應(yīng)用非晶硅行業(yè)真空泵零污染太陽能電池工業(yè)耐腐蝕性強成本低
普旭（Busch）無油真空泵在非晶硅沉積設(shè)備行業(yè)中具有顯著優(yōu)勢，尤其在太陽能電池、薄膜晶體管（TFT）、柔性顯示面板等領(lǐng)域的化學(xué)氣相沉積（CVD）和物理氣相沉積（PVD）工藝中。無油設(shè)計徹底消除了油蒸汽污染風(fēng)險，符合非晶硅薄膜對高潔凈度和穩(wěn)定真空環(huán)境的嚴苛要求。
非晶硅沉積工藝對真空泵的核心需求
1. 絕對潔凈性
非晶硅薄膜對雜質(zhì)（如油分子、顆粒物）極為敏感，污染會導(dǎo)致薄膜缺陷（如針孔、導(dǎo)電不均），影響器件性能。
2. 穩(wěn)定的中高真空度
沉積腔體需維持 10?3 ~ 10?1 mbar** 的真空范圍，確保氣體均勻分布和反應(yīng)可控。
3. 耐腐蝕性
工藝氣體常含硅烷（SiH?）、氫氣（H?）、氨氣（NH?）等，真空泵需耐受氣體腐蝕及副產(chǎn)物（如硅粉塵）。
4. 連續(xù)運行能力
生產(chǎn)線通常需24/7運行，要求真空泵具備高可靠性，維護周期長。
普旭無油真空泵的核心應(yīng)用場景
1. 主沉積腔體的真空建立與維持
應(yīng)用環(huán)節(jié)：快速抽除腔體空氣，建立并維持沉積所需的真空環(huán)境。
推薦泵型：
普旭干式螺桿泵（Seco系列）
極限真空：0.01 mbar，覆蓋非晶硅沉積的中高真空需求。
無油設(shè)計：避免硅烷與潤滑油反應(yīng)生成顆粒污染。
耐腐蝕涂層：可選特氟龍或陶瓷涂層，適配含H?、SiH?的工藝氣體。
普旭羅茨泵（RUVAC WA/WS系列）
與螺桿泵串聯(lián)使用，提升抽速，快速達到高真空（<10?3 mbar）。
2. 工藝廢氣處理與粉塵管理
應(yīng)用環(huán)節(jié)：抽除未反應(yīng)的硅烷、副產(chǎn)物（如硅粉塵）及廢氣。
推薦泵型：
普旭耐腐蝕爪式泵（Mink Claw系列）
抗腐蝕設(shè)計：鎳基合金泵腔，耐受硅烷分解產(chǎn)生的硅沉積。
粉塵過濾：集成多級過濾器，攔截硅顆粒，保護泵體。
3. 晶圓/基板傳輸與固定
應(yīng)用環(huán)節(jié)：機械臂真空吸附基板，實現(xiàn)無損傷搬運。
推薦泵型：
普旭無油渦旋泵（COBRA NX系列）
極限真空：5 mbar，抽速5~40 m3/h，體積緊湊。
零污染：適合潔凈室環(huán)境，避免薄膜表面污染。
普旭無油真空泵的技術(shù)優(yōu)勢
1. 零油污染，潔凈度保障
干式運行技術(shù)（螺桿、爪式、渦旋）徹底消除油蒸汽風(fēng)險，滿足 ISO 14644-1 Class 5潔凈標(biāo)準(zhǔn)。
2.耐腐蝕與長壽命
泵腔采用特氟龍涂層、陶瓷或鎳基合金材質(zhì)，耐受硅烷、氨氣等腐蝕性氣體，壽命較傳統(tǒng)泵提升30%以上。
3. 高效節(jié)能與智能控制
變頻驅(qū)動（VFD）：根據(jù)負載動態(tài)調(diào)節(jié)功率，能耗降低15%~25%。
IoT監(jiān)控：實時監(jiān)測真空度、溫度、振動數(shù)據(jù)，實現(xiàn)預(yù)測性維護。
4.低維護成本
無需更換真空油，濾芯更換周期長（1000~3000小時），減少停機時間。
典型配置方案
1. 非晶硅CVD設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)泵組
前級泵：Seco SV 1005干式螺桿泵（抽速40 m3/h，極限真空0.01 mbar）。
增壓泵：RUVAC WA 1001羅茨泵（抽速400 m3/h）。
配套系統(tǒng)：
化學(xué)過濾器：攔截硅粉塵及副產(chǎn)物。
冷阱：冷凝可凝性氣體（如硅烷分解產(chǎn)物）。
2. 廢氣處理專用方案
主泵：Mink Claw 0808爪式泵（抽速80 m3/h，鎳基合金泵腔）。
過濾系統(tǒng)：
前置旋風(fēng)分離器（去除大顆粒硅粉塵）。
HEPA級后置過濾器（凈化排放氣體）。
注意事項與優(yōu)化策略
1.氣體兼容性驗證
確認工藝氣體（如SiH?、NH?）與泵體材質(zhì)無反應(yīng)，避免硅沉積導(dǎo)致泵腔堵塞。
2.熱管理與散熱
長時間運行需監(jiān)控泵體溫度（建議≤80°C），必要時配置水冷系統(tǒng)。
3.粉塵控制
定期清洗進氣過濾器（建議每500小時），防止硅顆粒堆積影響抽速。
4.系統(tǒng)集成優(yōu)化
搭配真空傳感器與PLC，實現(xiàn)真空度閉環(huán)控制，提升工藝穩(wěn)定性。
普旭無油真空泵在非晶硅沉積設(shè)備中憑借零污染、耐腐蝕、高穩(wěn)定性和智能化管理 成為行業(yè)選擇。其干式螺桿泵與羅茨泵的組合可高效實現(xiàn)中高真空需求，同時爪式泵與渦旋泵在廢氣處理和基板傳輸中表現(xiàn)卓越。對于光伏、顯示面板等追求高良率與潔凈生產(chǎn)的領(lǐng)域，普旭無油泵不僅降低了污染風(fēng)險，還通過節(jié)能設(shè)計和長壽命降低了綜合成本。未來，隨著沉積工藝向更高精度發(fā)展，普旭的智能化監(jiān)控與耐腐蝕技術(shù)創(chuàng)新將進一步鞏固其市場領(lǐng)先地位。
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