產(chǎn)品詳情
晶圓中心定位
通過將晶圓中心與設(shè)備主軸對準(zhǔn),保證工藝的均勻性。
晶向校準(zhǔn)
通過檢測晶圓缺口或平邊,確定晶向(即晶圓的特定方向),避免因方向偏差導(dǎo)致工藝失誤。
快速定位
在高速生產(chǎn)線上實現(xiàn)快速、精準(zhǔn)的晶圓定位,縮短工藝準(zhǔn)備時間。
自動化校準(zhǔn)
部分型號支持自動調(diào)整晶圓位置,減少人工干預(yù),提升生產(chǎn)效率。
兼容性
可適配不同尺寸晶圓(如2寸至18寸), 適應(yīng)多種工藝需求。





