產(chǎn)品詳情
預(yù)對準(zhǔn)器主要用于半導(dǎo)體制造中，對晶圓進行初步位置校準(zhǔn)，確保后續(xù)工藝的精確性。其核心功能包括:
晶圓中心定位
通過將晶圓中心與設(shè)備主軸對準(zhǔn)，保證工藝的均勻性。
晶向校準(zhǔn)
通過檢測晶圓缺口或平邊，確定晶向(即晶圓的特定方向)，避免因方向偏差導(dǎo)致工藝失誤。
快速定位
在高速生產(chǎn)線上實現(xiàn)快速、精準(zhǔn)的晶圓定位，縮短工藝準(zhǔn)備時間。
自動化校準(zhǔn)
部分型號支持自動調(diào)整晶圓位置，減少人工干預(yù)，提升生產(chǎn)效率。
兼容性
可適配不同尺寸晶圓(如2寸至18寸), 適應(yīng)多種工藝需求。
晶圓中心定位
通過將晶圓中心與設(shè)備主軸對準(zhǔn)，保證工藝的均勻性。
晶向校準(zhǔn)
通過檢測晶圓缺口或平邊，確定晶向(即晶圓的特定方向)，避免因方向偏差導(dǎo)致工藝失誤。
快速定位
在高速生產(chǎn)線上實現(xiàn)快速、精準(zhǔn)的晶圓定位，縮短工藝準(zhǔn)備時間。
自動化校準(zhǔn)
部分型號支持自動調(diào)整晶圓位置，減少人工干預(yù)，提升生產(chǎn)效率。
兼容性
可適配不同尺寸晶圓(如2寸至18寸), 適應(yīng)多種工藝需求。
