產(chǎn)品詳情
島津(Shimadzu)渦輪泵主要用于為半導(dǎo)體器件、太陽能電池和平板顯示器制造提供高真空環(huán)境，通過渦輪增壓輸送氣體或液體介質(zhì)實現(xiàn)真空環(huán)境的維持與調(diào)節(jié)。
核心功能
1.高真空環(huán)境維護(hù):通過渦輪增壓技術(shù)維持設(shè)備運行所需的高真空條件，適用于半導(dǎo)體加工、薄膜沉積等精密制造工藝。
2.氣體/液體輸送:具備增壓輸送功能，可推動氣體或液體介質(zhì)流動，滿足特定工藝流程的壓力需求。
3.免維護(hù)設(shè)計:采用磁懸浮軸承系統(tǒng)，無需油潤滑，運行過程中無摩擦、無磨損，維護(hù)成本低。
應(yīng)用領(lǐng)域
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、新能源(如太陽能電池生產(chǎn))、顯示技術(shù)及材料加工等領(lǐng)域，通過精確控制真空環(huán)境保障產(chǎn)品質(zhì)量。
核心功能
1.高真空環(huán)境維護(hù):通過渦輪增壓技術(shù)維持設(shè)備運行所需的高真空條件，適用于半導(dǎo)體加工、薄膜沉積等精密制造工藝。
2.氣體/液體輸送:具備增壓輸送功能，可推動氣體或液體介質(zhì)流動，滿足特定工藝流程的壓力需求。
3.免維護(hù)設(shè)計:采用磁懸浮軸承系統(tǒng)，無需油潤滑，運行過程中無摩擦、無磨損，維護(hù)成本低。
應(yīng)用領(lǐng)域
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、新能源(如太陽能電池生產(chǎn))、顯示技術(shù)及材料加工等領(lǐng)域，通過精確控制真空環(huán)境保障產(chǎn)品質(zhì)量。
