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半導(dǎo)體晶圓測試高低溫機(jī)：-65℃~300℃超潔凈控溫

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第1年

邁浦特機(jī)械（四川）有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌邁浦特MAIPT型號MPTD
產(chǎn)品別名冷熱一體機(jī)產(chǎn)品用途控溫
適用原料硅油（介質(zhì),間接加熱）電動機(jī)功率根據(jù)客戶要求定制
規(guī)格其他重量175~2251kg
是否進(jìn)口否加工定制是
產(chǎn)地其他

產(chǎn)品詳情

邁浦特機(jī)械高低溫一體機(jī)針對半導(dǎo)體制造環(huán)境設(shè)計：

  • 雙循環(huán)隔離：主循環(huán)（硅油）與晶圓載臺循環(huán)（去離子水）通過鈦板換換熱，杜絕油污染；
  • 減振結(jié)構(gòu)：渦旋壓縮機(jī)+氣墊減震基座，配合軟管連接載臺；
  • 露點(diǎn)控制：-65℃工況下，吸附式干燥機(jī)維持露點(diǎn)≤-60℃，防止晶圓結(jié)霜
    • 溫度范圍：-65℃~300℃；
    • 潔凈度：Class 10級（ISO 14644）；
    • 控溫精度：±0.1℃（300℃以下）；
    • 振動控制：振幅＜5μm；
    • 通訊協(xié)議：SECS/GEM半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)

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