產(chǎn)品詳情
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R-14(CF4、四氟化碳、四氟甲烷、氟利昂-14、Freon 14、PFC-14、FC-14、R14)
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冷媒名稱 |
R-14 |
冷媒名稱 |
R-14 |
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沸點(diǎn)(1atm),℃ |
-128.1 |
破壞臭氧潛能值(ODP) |
0 |
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飽和蒸氣壓(-150.7℃),kPa |
13.33 |
全球變暖潛能值(GWP,100 yr) |
5700 |
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臨界溫度,℃ |
-45.6 |
燃燒 |
不可燃 |
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臨界壓力,MPa |
3.75 |
ASHRAE安全級(jí)別 |
A1(無毒不可燃) |
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主要應(yīng)用 |
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R14主要用于超低溫(深冷)復(fù)疊式制冷設(shè)備中,R14也是低溫配合冷媒的重要組分;四氟化碳(別名:四氟甲烷,全氟甲烷、氟碳14、carbon tetrafluoride、tetrafluoromethane、halocarbon 14、CF4、PFC-14)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。 |
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包裝規(guī)格 |
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鋼瓶包裝,5kg/瓶,32.8kg/瓶。 |
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包裝運(yùn)輸
四氟化碳(R14)對(duì)金屬、合金不腐蝕,可用無縫鋼瓶和鋁合金容器裝運(yùn),充瓶壓力通常低于12.5MPa,按壓縮氣體運(yùn)輸,鋼瓶每五年檢驗(yàn)一次,國(guó)外規(guī)定可用汽車、火車、輪船和飛機(jī)運(yùn)輸,國(guó)內(nèi)目前無規(guī)定。鋼瓶包裝:5kg/瓶,35kg/瓶


