產(chǎn)品詳情
(2)水蒸氣的影響:水蒸氣(H2O)在1100℃時(shí)與SiC發(fā)生強(qiáng)烈化學(xué)反應(yīng),生成Si、SiO2和C。硅碳棒表面出現(xiàn)裂紋,電阻增長(zhǎng)速度很快。
(3)氮?dú)猓∟2)的影響:當(dāng)硅碳棒表面溫度達(dá)到1400℃時(shí),N2就與SiC發(fā)生反應(yīng),生成氮化硅,使硅碳棒的電阻值顯著增長(zhǎng)。
(4)氫氣(H2)的影響:在1250℃時(shí),H2與SiC發(fā)生反應(yīng),生成甲烷(CH4),破壞SiC發(fā)熱體。
(5)氨氣(NH3)的影響:NH3在高溫時(shí)可分解成成N2和H2。故使用溫度應(yīng)控制在1250℃以下。
(6)二氧化硫(SO2)的影響:SO2在1300℃與SiC反應(yīng),故使用溫度應(yīng)控制在1300℃以下。
(7)氯氣(Cl2)的影響:Cl2在600℃時(shí)就會(huì)與SiC發(fā)生反應(yīng),在1200℃時(shí),Cl2會(huì)把硅碳棒完全分解。





