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日本愛發(fā)科ULVAC干法刻蝕機(jī)Dry Etching

數(shù)量(1) 面議
1
  • 供貨總量： 電議
  • 最小起訂： 11
  • 發(fā)貨地址： 上海
  • 付款方式： 面議
  • 發(fā)布日期：2017-08-02
  • 訪問量：289
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最新發(fā)布

第9年

上海瞻馳光電科技有限公司

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  • 企業(yè)地址：上海市松江區(qū)城隆路629弄3號(hào)522室

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詳細(xì)參數(shù)
品牌 日本愛發(fā)科 規(guī)格型號(hào) ＮＥ
編號(hào) ＮＥ 計(jì)量單位 11
付款方式 面議 參考價(jià)格 0
價(jià)格單位 人民幣 供貨量 不限
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產(chǎn)地 日本 發(fā)貨地 上海

產(chǎn)品詳情

應(yīng)用領(lǐng)域：IC，MEMS，LED，IGBT，SiC　Power　Device，LTCC 

設(shè)備特點(diǎn)： 

1、能夠生成均一性非常好的低壓力、高密度plasma 

-搭載ISM（有磁場ICP）Plasma源。ULVAC專利。 

2、為了保證再現(xiàn)性、穩(wěn)定性使用了key技術(shù) 

-STAR電極。ULVAC專利。 

3、優(yōu)秀的基板溫度控制 

-并用了He導(dǎo)入的ESC式、machine　zipper式基板固定。 

4、簡單且快速的維護(hù)-減輕了維護(hù)負(fù)荷的維護(hù)機(jī)構(gòu)。 

5、生產(chǎn)性、處理性能向上-300mm托盤，7層Cassette裝備。

溫馨提示

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