產(chǎn)品詳情
| 型號 | φ1300×1350 |
| 極限真空度 | 2.8×10-4pa |
| 恢復(fù)真空 | 從大氣抽至3×10-3pa≤15min |
| 基片烘烤 | 采用上烘烤,功率18kw最高溫度350℃,兩組控溫。 |
| 電阻蒸發(fā)電極 | 2對,功率5kw/組,單源交替蒸發(fā) |
| 電子槍蒸發(fā)源 | 2只 功率6kw/只 |
| 真空系統(tǒng) | 2-k-600型油擴(kuò)散泵+ zjp-300型羅茨泵+2x-70型機(jī)械泵 |
| 電源 | 220v/380v 50hz |
| 總功率 | 40kw |
| 耗水 | 約30l/min |
| 氣壓 | 5~6mpa |


