產(chǎn)品詳情
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1 |
規(guī)格 |
五路氣體控制裝置 |
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2 |
產(chǎn)品型號 |
PQ-05PSF |
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3 |
可選流量規(guī)格 |
5sccm~250slm（標(biāo)準(zhǔn)） |
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4 |
控制準(zhǔn)確度 |
±1.5 % F.S./路 或 ±1 % S.P./路 |
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5 |
線性 |
±(0.5~1.5) % F.S/路. |
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6 |
重復(fù)精度 |
±0.2 % F.S. |
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7 |
工作壓差范圍 |
(0.1 ~ 0.5) MPa |
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8 |
工作環(huán)境溫度 |
室溫 |
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9 |
電源 |
~220V±10% 50Hz |
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10 |
進氣控制方式 |
無閥方式 電磁閥控制方式 手動閥門控制方式 |
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11 |
*高耐壓 |
0.6Mpa |
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12 |
氣路連接方式 |
Ф3、Ф6、Ф8、Ф10雙卡套接頭 1/8”、1/4”、3/8”雙卡套接頭 1/8”、1/4”、3/8”VCR接頭 或依據(jù)客戶定制 |
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13 |
質(zhì)量流量控制器 |
國產(chǎn)（默認(rèn)） 進口（可選或指定品牌） |
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14 |
真空參數(shù) |
1х10-1 |
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15 |
加熱參數(shù) |
250°C |
