主營產品：配氣系統(tǒng),稀釋裝置,真空鍍膜機,靶材,真空配件,帶溫濕度顯示配氣裝置
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| 數量() | 面議 |
| 1 |
| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 規(guī)格型號 | 完善 | |
| 編號 | 齊全 | 計量單位 | 1 |
| 付款方式 | 參考價格 | ||
| 價格單位 | 供貨量 | 不限 | |
| 說明書，報價手冊及驅動 | 暫無相關下載 | 其他資料下載 | 暫無相關下載 |
| 產地 | 本地 | 發(fā)貨地 | 本地至全國 |
|
編號 |
項 目 |
性能參數 |
|
1 |
規(guī)格 |
四路氣體控制裝置 |
|
2 |
可選流量規(guī)格 |
5sccm~30slm |
|
3 |
控制準確度 |
±1.5 % F.S./路 |
|
4 |
線性 |
±(0.5~1.5) % F.S/路. |
|
5 |
重復精度 |
±0.2 % F.S. |
|
6 |
工作壓差范圍 |
(0.2 ~ 0.4) MPa |
|
7 |
工作環(huán)境溫度 |
1 |
|
8 |
電源 |
~220V±10% 50Hz |
|
9 |
控制方式 |
手動/計算機控制 |
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