產(chǎn)品詳情
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流量范圍 |
10SCCM-125SLPM |
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響應(yīng)時間 |
≤2sec |
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準(zhǔn)確度 |
≤1%FS |
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重復(fù)精度 |
±0.25% |
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輸入/輸出信號 |
0-5VDC,4-20mA |
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供電電源 |
+15~28VDC,350mA |
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耐壓 |
<9MPa |
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工作環(huán)境溫度 |
0-50℃ |
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泄漏率 |
1*10-9atm.cc/sec |
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流量范圍 |
10SCCM-125SLPM |
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響應(yīng)時間 |
≤2sec |
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準(zhǔn)確度 |
≤1%FS |
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重復(fù)精度 |
±0.25% |
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輸入/輸出信號 |
0-5VDC,4-20mA |
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供電電源 |
+15~28VDC,350mA |
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耐壓 |
<9MPa |
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工作環(huán)境溫度 |
0-50℃ |
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泄漏率 |
1*10-9atm.cc/sec |


