產(chǎn)品詳情
河南電廠實(shí)驗(yàn)室集中供氣參照標(biāo)準(zhǔn)
半導(dǎo)體生產(chǎn)流程由晶圓制造，晶圓測(cè)試，芯片封裝和封裝后測(cè)試組成，晶圓制造和芯片封裝討論較多，而測(cè)試環(huán)節(jié)的相關(guān)知識(shí)經(jīng)常被邊緣化，下面集中介紹集成電路芯片測(cè)試的相關(guān)內(nèi)容，主要集中在WAT，CP和FT三個(gè)環(huán)節(jié)。集成電路設(shè)計(jì)、制造、封裝流程示意圖WAT（WaferAcceptanceTest）測(cè)試，也叫PCM（ProcessControlMonitoring），對(duì)Wafer劃片槽（ScribeLine）測(cè)試鍵（TestKey）的測(cè)試，通過(guò)電性參數(shù)來(lái)監(jiān)控各步工藝是否正常和穩(wěn)定，CMOS的電容，電阻，Contact，blLine等，一般在wafer完成制程前，是Wafer從Fab廠出貨到封測(cè)廠的依據(jù)，測(cè)試方法是用ProbeCard扎在TestKey的blPad上，ProbeCard另一端接在WAT測(cè)試機(jī)臺(tái)上，由WATRecipe自動(dòng)控制測(cè)試位置和內(nèi)容，測(cè)完某條TestKey后，ProbeCard會(huì)自動(dòng)移到下一條TestKey，直到整片Wafer測(cè)試完成。
學(xué)校的科研教學(xué)，制藥行業(yè)的研發(fā)，化工行業(yè)的研究，還是用于醫(yī)學(xué)或私人研究，其運(yùn)轉(zhuǎn)必須是安全可靠的。當(dāng)代實(shí)驗(yàn)室離得各類耗氣設(shè)備和各種分析儀如色譜儀和質(zhì)譜儀都需要使用載氣和燃料氣，這些氣體的控制系統(tǒng)對(duì)于實(shí)驗(yàn)人員和價(jià)格高昂的實(shí)驗(yàn)器材的安全都是至關(guān)重要的。它必須確保這些氣體的穩(wěn)定性和安全性。在現(xiàn)代化的實(shí)驗(yàn)室中，為了完成實(shí)驗(yàn)，需要用到多種分析儀器，如氣相色譜儀，原子吸收，氣一質(zhì)聯(lián)用儀，ICP等等，其中這些儀器需要用到高純氣體，傳統(tǒng)的做法是采用獨(dú)立鋼瓶分散供氣的模式，這種供氣模式每臺(tái)儀器設(shè)備單獨(dú)配置氣體鋼瓶，分別滿足每臺(tái)儀器設(shè)備的使用，但隨著近年來(lái)實(shí)驗(yàn)室投資的不斷加大，儀器設(shè)備的迅速增加，用氣量也逐年增加，傳統(tǒng)的供氣模式已經(jīng)難以滿足儀器設(shè)備增加的需求，同時(shí)分散供氣模式帶來(lái)的實(shí)驗(yàn)室布局混亂，鋼瓶的頻繁更換也對(duì)實(shí)驗(yàn)室的管理和維護(hù)造成了困難，為了解決以上兩個(gè)方面的問(wèn)題，就需要一套安全性高且能實(shí)現(xiàn)集中分配供氣的系統(tǒng)完成從氣源向儀器的供氣，這就是實(shí)驗(yàn)室高純氣體管道系統(tǒng)的功能所在。實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)的特點(diǎn)：安全性、潔凈度、穩(wěn)定性、經(jīng)濟(jì)性、操作便捷性和美觀性。
4.系統(tǒng)工藝流程
氣路系統(tǒng)主要由氣源、切換裝置、管道系統(tǒng)、調(diào)壓裝置、用氣點(diǎn)、監(jiān)控及報(bào)警系統(tǒng)組成。對(duì)于一些易燃易爆氣體，如氫氣、乙炔等，可能在設(shè)計(jì)和施工過(guò)程中稍有差異，必須加入阻火器防火苗串入。
氣路系統(tǒng)常用器材：鋼瓶（氣體壓縮機(jī)）、鋼瓶固定架、鋼瓶柜、鋼瓶接頭、
金屬軟管、半自動(dòng)切換裝置、一級(jí)減壓器、二級(jí)減壓器、焊接三通、焊接大小頭、
卡套閥門、不銹鋼管道（BA)、壓力表、可燃有毒氣體監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置等等。
5.系統(tǒng)設(shè)計(jì)和施工標(biāo)準(zhǔn)
《工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》
GB50235-2010
《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》
GB50236-2011
《氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》
GB50177-2005
《氫氣使用安全技術(shù)規(guī)范》
GB4962-2008
《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》
GB50316-2000
《乙炔站設(shè)計(jì)規(guī)范》
GB50031-91
《壓縮空氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50029-2014
《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》
GB50016-2014
6.驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
外觀檢查
1.管道走線要橫平豎直；管道均固定牢固
2.管道外表面無(wú)明顯破損。
3.各個(gè)閥件無(wú)明顯破損。
安裝實(shí)驗(yàn)室的氣路要求
（一）、需求
1、供氣參數(shù)：
1、氣體品種：共有八種氣體, Ar(氬氣) , N2 (氮?dú)?, L N2 (液氮) , He (氦氣), 空壓機(jī)一樓(Air) ,氫氣(H2),乙炔(C2H2), O2(氧氣) 分別在四、五樓都有獨(dú)立氣瓶室；
液質(zhì)室: N2、Air 共2個(gè)；氣相室: H2、N2 、He 、Air 各四 共16個(gè)；
氣質(zhì)室: N2、He 、Air、H2各兩個(gè)共8個(gè)；ICP-MS室: Ar 、H2 、He 各一組共3個(gè)；
光鐠室：Air、Ar、C2H2 各四 共12個(gè)；氣相、液相、理室：N2 共4個(gè) ；
熒光室: He 、Air 各一 共2個(gè) ； 紅外碳硫.氧氮分析室: O2 、N2、Air 兩組各一 共6個(gè)；
光鐠室: C2H2、Air 各一 共2個(gè)；原子熒光室: Ar 共1個(gè)；
ICP室： Ar 共1個(gè)；氣相色鐠室: H2 、N2、Air 兩組各一 共6個(gè)；
氣質(zhì)室：He 共1個(gè)；色鐠處理室: N2 共2個(gè)；
油品二室: O2 共1個(gè)
2、壓力要求：氣源—— 高壓瓶裝氣體，按標(biāo)準(zhǔn)充裝；及杜瓦瓶(液氮)
2.1使用壓力—— 常規(guī)，按一次減壓（≤0.8MPa），終端減壓到儀器需要的使用壓力兩級(jí)調(diào)壓考慮(需要使用的管道配終端的減壓閥及開關(guān)閥門)
3、管道敷設(shè)方式：埋地線槽敷設(shè)。
河南電廠實(shí)驗(yàn)室集中供氣參照標(biāo)準(zhǔn)
分工頻耐壓試驗(yàn)和直流耐壓試驗(yàn)兩種。工頻耐壓試驗(yàn)其試驗(yàn)電壓為被試設(shè)備額定電壓的一倍多至數(shù)倍，不低于1000V。其加壓時(shí)間：對(duì)于以瓷和液體為主要絕緣的設(shè)備為1分鐘，對(duì)于以有機(jī)固體為主要絕緣的設(shè)備為5分鐘，對(duì)于電壓互感器為3分鐘，對(duì)于油浸電力電纜為10分鐘。電氣設(shè)備經(jīng)耐壓試驗(yàn)?zāi)軌虬l(fā)現(xiàn)絕緣的局部缺陷、受潮及老化。交流耐壓試驗(yàn)：在被試設(shè)備電壓的2.5倍及以上進(jìn)行，從介質(zhì)損失的熱擊穿觀點(diǎn)出發(fā)，可以有效地發(fā)現(xiàn)局部游離性缺陷及絕緣老化的弱點(diǎn)。
4、特殊要求：
4.1因氮?dú)庥昧枯^大,要采用液體杜瓦瓶做主供氣+兩瓶高壓鋼瓶做備用供氣,以保證不間斷供氣,防止由于供氣的間斷影響儀器的使用.
4.2部分用氣點(diǎn)較多的氣源采用自動(dòng)切換連續(xù)不間斷供氣的集中供氣方式，終端配置開關(guān)閥和壓力指示
4.3小流量的氣源采用單回路匯流排供氣,終端配置開關(guān)閥和壓力指示
(二)、編制依據(jù)
1、GB50235—2010《工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》；
2、GB50236—2011《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》；
3、使用單位提出的工作條件（壓力、流量及工作連續(xù)性等）。
(三)、供氣流程
根據(jù)設(shè)計(jì)參數(shù)，共有八氣體, Ar(氬氣) , N2 (氮?dú)?, LN2 (液氮) He (氦氣),空壓機(jī)一樓(Air) ,氫氣(H2),乙炔(C2H2), O2(氧氣) 分別在四.五.六樓都有獨(dú)立氣瓶室，
供氣流程如下：氣體從氣瓶經(jīng)高壓軟管進(jìn)入高壓匯流管，經(jīng)次減壓將壓力降低至1.1Mpa.，通過(guò)潔凈的不銹鋼氣體輸送管道到達(dá)各實(shí)驗(yàn)室儀器臺(tái)，
通過(guò)開關(guān)閥門或終端減壓閥控制氣體輸出，對(duì)于使用壓力要求不同的儀器，在進(jìn)入儀器前進(jìn)行第二次調(diào)壓，使壓力符合儀器使用的工作條件。
河南電廠實(shí)驗(yàn)室集中供氣參照標(biāo)準(zhǔn)
一個(gè)反激式電源可分別從一個(gè)48V輸入產(chǎn)生兩個(gè)1A的12V輸出。理想的二極管模型具有零正向壓降，電阻可忽略不計(jì)。變壓器繞組電阻可忽略不計(jì)，只有與變壓器引線串聯(lián)的寄生電感才能建模。這些電感是變壓器內(nèi)的漏電感，以及印刷電路板（PCB）印制線和二極管內(nèi)的寄生電感。當(dāng)設(shè)置這些電感時(shí)，兩個(gè)輸出相互跟蹤，因?yàn)楫?dāng)二極管在開關(guān)周期的1-D部分導(dǎo)通時(shí)，變壓器的全耦合會(huì)促使兩個(gè)輸出相等。該反激式簡(jiǎn)化模型模擬了漏電感對(duì)輸出電壓調(diào)節(jié)的影響。
半導(dǎo)體生產(chǎn)流程由晶圓制造，晶圓測(cè)試，芯片封裝和封裝后測(cè)試組成，晶圓制造和芯片封裝討論較多，而測(cè)試環(huán)節(jié)的相關(guān)知識(shí)經(jīng)常被邊緣化，下面集中介紹集成電路芯片測(cè)試的相關(guān)內(nèi)容，主要集中在WAT，CP和FT三個(gè)環(huán)節(jié)。集成電路設(shè)計(jì)、制造、封裝流程示意圖WAT（WaferAcceptanceTest）測(cè)試，也叫PCM（ProcessControlMonitoring），對(duì)Wafer劃片槽（ScribeLine）測(cè)試鍵（TestKey）的測(cè)試，通過(guò)電性參數(shù)來(lái)監(jiān)控各步工藝是否正常和穩(wěn)定，CMOS的電容，電阻，Contact，blLine等，一般在wafer完成制程前，是Wafer從Fab廠出貨到封測(cè)廠的依據(jù)，測(cè)試方法是用ProbeCard扎在TestKey的blPad上，ProbeCard另一端接在WAT測(cè)試機(jī)臺(tái)上，由WATRecipe自動(dòng)控制測(cè)試位置和內(nèi)容，測(cè)完某條TestKey后，ProbeCard會(huì)自動(dòng)移到下一條TestKey，直到整片Wafer測(cè)試完成。
學(xué)校的科研教學(xué)，制藥行業(yè)的研發(fā)，化工行業(yè)的研究，還是用于醫(yī)學(xué)或私人研究，其運(yùn)轉(zhuǎn)必須是安全可靠的。當(dāng)代實(shí)驗(yàn)室離得各類耗氣設(shè)備和各種分析儀如色譜儀和質(zhì)譜儀都需要使用載氣和燃料氣，這些氣體的控制系統(tǒng)對(duì)于實(shí)驗(yàn)人員和價(jià)格高昂的實(shí)驗(yàn)器材的安全都是至關(guān)重要的。它必須確保這些氣體的穩(wěn)定性和安全性。在現(xiàn)代化的實(shí)驗(yàn)室中，為了完成實(shí)驗(yàn)，需要用到多種分析儀器，如氣相色譜儀，原子吸收，氣一質(zhì)聯(lián)用儀，ICP等等，其中這些儀器需要用到高純氣體，傳統(tǒng)的做法是采用獨(dú)立鋼瓶分散供氣的模式，這種供氣模式每臺(tái)儀器設(shè)備單獨(dú)配置氣體鋼瓶，分別滿足每臺(tái)儀器設(shè)備的使用，但隨著近年來(lái)實(shí)驗(yàn)室投資的不斷加大，儀器設(shè)備的迅速增加，用氣量也逐年增加，傳統(tǒng)的供氣模式已經(jīng)難以滿足儀器設(shè)備增加的需求，同時(shí)分散供氣模式帶來(lái)的實(shí)驗(yàn)室布局混亂，鋼瓶的頻繁更換也對(duì)實(shí)驗(yàn)室的管理和維護(hù)造成了困難，為了解決以上兩個(gè)方面的問(wèn)題，就需要一套安全性高且能實(shí)現(xiàn)集中分配供氣的系統(tǒng)完成從氣源向儀器的供氣，這就是實(shí)驗(yàn)室高純氣體管道系統(tǒng)的功能所在。實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)的特點(diǎn)：安全性、潔凈度、穩(wěn)定性、經(jīng)濟(jì)性、操作便捷性和美觀性。
4.系統(tǒng)工藝流程
氣路系統(tǒng)主要由氣源、切換裝置、管道系統(tǒng)、調(diào)壓裝置、用氣點(diǎn)、監(jiān)控及報(bào)警系統(tǒng)組成。對(duì)于一些易燃易爆氣體，如氫氣、乙炔等，可能在設(shè)計(jì)和施工過(guò)程中稍有差異，必須加入阻火器防火苗串入。
氣路系統(tǒng)常用器材：鋼瓶（氣體壓縮機(jī)）、鋼瓶固定架、鋼瓶柜、鋼瓶接頭、
金屬軟管、半自動(dòng)切換裝置、一級(jí)減壓器、二級(jí)減壓器、焊接三通、焊接大小頭、
卡套閥門、不銹鋼管道（BA)、壓力表、可燃有毒氣體監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置等等。
5.系統(tǒng)設(shè)計(jì)和施工標(biāo)準(zhǔn)
《工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》
GB50235-2010
《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》
GB50236-2011
《氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》
GB50177-2005
《氫氣使用安全技術(shù)規(guī)范》
GB4962-2008
《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》
GB50316-2000
《乙炔站設(shè)計(jì)規(guī)范》
GB50031-91
《壓縮空氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50029-2014
《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》
GB50016-2014
6.驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
外觀檢查
1.管道走線要橫平豎直；管道均固定牢固
2.管道外表面無(wú)明顯破損。
3.各個(gè)閥件無(wú)明顯破損。
實(shí)驗(yàn)室是用于完成實(shí)驗(yàn)、測(cè)試分析等各種實(shí)驗(yàn)工作的特殊環(huán)境。無(wú)論其用于
學(xué)校的科研教學(xué)，
制藥行業(yè)的研發(fā)，
化工行業(yè)的研究，
還是用于醫(yī)學(xué)或私人研究，
其運(yùn)轉(zhuǎn)必須是安全可靠的。
當(dāng)代實(shí)驗(yàn)室離得各類耗氣設(shè)備和各種分析儀如色譜儀
和質(zhì)譜儀都需要使用載氣和燃料氣，
這些氣體的控制系統(tǒng)對(duì)于實(shí)驗(yàn)人員和價(jià)格高
（一）、需求
1、供氣參數(shù)：
1、氣體品種：共有八種氣體, Ar(氬氣) , N2 (氮?dú)?, L N2 (液氮) , He (氦氣), 空壓機(jī)一樓(Air) ,氫氣(H2),乙炔(C2H2), O2(氧氣) 分別在四、五樓都有獨(dú)立氣瓶室；
液質(zhì)室: N2、Air 共2個(gè)；氣相室: H2、N2 、He 、Air 各四 共16個(gè)；
氣質(zhì)室: N2、He 、Air、H2各兩個(gè)共8個(gè)；ICP-MS室: Ar 、H2 、He 各一組共3個(gè)；
光鐠室：Air、Ar、C2H2 各四 共12個(gè)；氣相、液相、理室：N2 共4個(gè) ；
熒光室: He 、Air 各一 共2個(gè) ； 紅外碳硫.氧氮分析室: O2 、N2、Air 兩組各一 共6個(gè)；
光鐠室: C2H2、Air 各一 共2個(gè)；原子熒光室: Ar 共1個(gè)；
ICP室： Ar 共1個(gè)；氣相色鐠室: H2 、N2、Air 兩組各一 共6個(gè)；
氣質(zhì)室：He 共1個(gè)；色鐠處理室: N2 共2個(gè)；
油品二室: O2 共1個(gè)
2、壓力要求：氣源—— 高壓瓶裝氣體，按標(biāo)準(zhǔn)充裝；及杜瓦瓶(液氮)
2.1使用壓力—— 常規(guī)，按一次減壓（≤0.8MPa），終端減壓到儀器需要的使用壓力兩級(jí)調(diào)壓考慮(需要使用的管道配終端的減壓閥及開關(guān)閥門)
3、管道敷設(shè)方式：埋地線槽敷設(shè)。
河南電廠實(shí)驗(yàn)室集中供氣參照標(biāo)準(zhǔn)
分工頻耐壓試驗(yàn)和直流耐壓試驗(yàn)兩種。工頻耐壓試驗(yàn)其試驗(yàn)電壓為被試設(shè)備額定電壓的一倍多至數(shù)倍，不低于1000V。其加壓時(shí)間：對(duì)于以瓷和液體為主要絕緣的設(shè)備為1分鐘，對(duì)于以有機(jī)固體為主要絕緣的設(shè)備為5分鐘，對(duì)于電壓互感器為3分鐘，對(duì)于油浸電力電纜為10分鐘。電氣設(shè)備經(jīng)耐壓試驗(yàn)?zāi)軌虬l(fā)現(xiàn)絕緣的局部缺陷、受潮及老化。交流耐壓試驗(yàn)：在被試設(shè)備電壓的2.5倍及以上進(jìn)行，從介質(zhì)損失的熱擊穿觀點(diǎn)出發(fā)，可以有效地發(fā)現(xiàn)局部游離性缺陷及絕緣老化的弱點(diǎn)。
4、特殊要求：
4.1因氮?dú)庥昧枯^大,要采用液體杜瓦瓶做主供氣+兩瓶高壓鋼瓶做備用供氣,以保證不間斷供氣,防止由于供氣的間斷影響儀器的使用.
4.2部分用氣點(diǎn)較多的氣源采用自動(dòng)切換連續(xù)不間斷供氣的集中供氣方式，終端配置開關(guān)閥和壓力指示
4.3小流量的氣源采用單回路匯流排供氣,終端配置開關(guān)閥和壓力指示
(二)、編制依據(jù)
1、GB50235—2010《工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》；
2、GB50236—2011《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》；
3、使用單位提出的工作條件（壓力、流量及工作連續(xù)性等）。
(三)、供氣流程
根據(jù)設(shè)計(jì)參數(shù)，共有八氣體, Ar(氬氣) , N2 (氮?dú)?, LN2 (液氮) He (氦氣),空壓機(jī)一樓(Air) ,氫氣(H2),乙炔(C2H2), O2(氧氣) 分別在四.五.六樓都有獨(dú)立氣瓶室，
供氣流程如下：氣體從氣瓶經(jīng)高壓軟管進(jìn)入高壓匯流管，經(jīng)次減壓將壓力降低至1.1Mpa.，通過(guò)潔凈的不銹鋼氣體輸送管道到達(dá)各實(shí)驗(yàn)室儀器臺(tái)，
通過(guò)開關(guān)閥門或終端減壓閥控制氣體輸出，對(duì)于使用壓力要求不同的儀器，在進(jìn)入儀器前進(jìn)行第二次調(diào)壓，使壓力符合儀器使用的工作條件。
河南電廠實(shí)驗(yàn)室集中供氣參照標(biāo)準(zhǔn)
一個(gè)反激式電源可分別從一個(gè)48V輸入產(chǎn)生兩個(gè)1A的12V輸出。理想的二極管模型具有零正向壓降，電阻可忽略不計(jì)。變壓器繞組電阻可忽略不計(jì)，只有與變壓器引線串聯(lián)的寄生電感才能建模。這些電感是變壓器內(nèi)的漏電感，以及印刷電路板（PCB）印制線和二極管內(nèi)的寄生電感。當(dāng)設(shè)置這些電感時(shí)，兩個(gè)輸出相互跟蹤，因?yàn)楫?dāng)二極管在開關(guān)周期的1-D部分導(dǎo)通時(shí)，變壓器的全耦合會(huì)促使兩個(gè)輸出相等。該反激式簡(jiǎn)化模型模擬了漏電感對(duì)輸出電壓調(diào)節(jié)的影響。
