產(chǎn)品詳情
在半導(dǎo)體電路制造中,有許多加工工序在高溫的真空室內(nèi)進(jìn)行,在這種環(huán)境下,產(chǎn)生的廢料都是直接升華成氣相 經(jīng)真空管路排放。如果在排放過程中,溫度下降太多,這些氣體就可能沉降、聚集在管路或各種閥門上,如果不及時清除這些沉積物,就會增加晶片質(zhì)量缺陷,降低真空系統(tǒng)效率及相關(guān)設(shè)備使用壽命。針對這種情況我們把隔熱、加熱產(chǎn)品進(jìn)行整合對管路及閥門進(jìn)行溫度的維持,根據(jù)客戶要求及管路形狀進(jìn)行量身定做,按技術(shù)要求使用功率設(shè)計(jì)生產(chǎn)




