產(chǎn)品詳情
多晶硅無(wú)塵車(chē)間環(huán)境設(shè)施要求：
1 半導(dǎo)體級(jí)多晶硅還原廠房的還原爐室應(yīng)按潔凈廠房進(jìn)行設(shè)計(jì)，空氣潔凈度等級(jí)不應(yīng)低于8級(jí)。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內(nèi)裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)設(shè)有通往整理廠房的連廊時(shí)，連廊的空氣潔凈度等級(jí)和處理方法應(yīng)與還原爐室的要求一致，宜符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。
2 還原爐室地面宜采用耐磨的潔凈地面，當(dāng)采用水磨石地面時(shí)，應(yīng)采取防靜電措施。墻面宜采用外貼潔凈板或防靜電樹(shù)脂涂料。
3 整理廠房空氣潔凈度等級(jí)及潔凈區(qū)劃分應(yīng)按工藝要求設(shè)置，空氣潔凈度不應(yīng)低于8級(jí)。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內(nèi)裝修，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
4 整理廠房的潔凈房間地面宜采用環(huán)氧自流平地面、聚氯乙烯(PVC)膜材料或水磨石地面，地面應(yīng)采取防靜電措施。
廠房空氣潔凈度等級(jí)、溫度、濕度的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。
存在下列情況之一時(shí)，空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)分開(kāi)設(shè)置：
1 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)；
2 空氣中含有易燃、易爆物質(zhì)；
3 容易產(chǎn)生交叉污染，對(duì)其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量造成影響；
4 對(duì)溫、濕度控制要求差別大；
5 工藝設(shè)備散熱量相差懸殊。
保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 5級(jí)～8級(jí)潔凈室送風(fēng)量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定；
2 生產(chǎn)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的還原爐室，當(dāng)空調(diào)系統(tǒng)為三級(jí)過(guò)濾時(shí)，其送風(fēng)量應(yīng)按換氣次數(shù)大于或等于6次／h計(jì)算。
潔凈室送風(fēng)可采用集中送風(fēng)或風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組送風(fēng)的方式。
潔凈空調(diào)送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉應(yīng)連鎖，正壓潔凈室連鎖程序應(yīng)為先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)；關(guān)閉時(shí)連鎖程序應(yīng)相反。
還原車(chē)間應(yīng)獨(dú)立設(shè)置直流空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)，不應(yīng)回風(fēng)。
腐蝕清洗室、硅棒破碎室、配件清洗室的空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)不宜回風(fēng)。
潔凈空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)集中處理時(shí)，新風(fēng)處理機(jī)組應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 新風(fēng)應(yīng)經(jīng)過(guò)粗效過(guò)濾器處理；
2 嚴(yán)寒地區(qū)新風(fēng)應(yīng)先預(yù)熱；
3 送風(fēng)機(jī)宜采取變頻措施。
空氣過(guò)濾器選用、布置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 空氣凈化處理應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)選用過(guò)濾器；
2 空氣過(guò)濾器處理風(fēng)量不應(yīng)大于額定風(fēng)量；
3 中效(高中效)空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)系統(tǒng)的正壓段；
4 亞高效和高效過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端。
風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)和送風(fēng)量選用；
2 送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié)；
3 應(yīng)便于安裝、維修及過(guò)濾器更換。
相關(guān)規(guī)范：
GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
GB51034-2014多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范
GB 50073-2013 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
GB 51110-2015 潔凈廠房施工及質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范
GB 50019-2015 工業(yè)建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范
GB 50243-2016通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范
GB 50016—2014（2018年版）建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范
