日前，由中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院聯(lián)合常州市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所等單位研制的2臺(tái)“新型多功能1m激光比長(zhǎng)儀裝置”，分別在江蘇省常州市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所、無(wú)錫市計(jì)量測(cè)試中心實(shí)驗(yàn)室完成線(xiàn)紋尺測(cè)量精度測(cè)試。裝置實(shí)現(xiàn)了線(xiàn)紋尺測(cè)量不確定度U=μm，重復(fù)性?xún)?yōu)于30nm，達(dá)到了國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平，可以滿(mǎn)足目前已有線(xiàn)紋尺的動(dòng)態(tài)高精度校準(zhǔn)，有效提升了相關(guān)計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)的一維長(zhǎng)度精密測(cè)量能力水平。

　　裝備制造業(yè)是常州、無(wú)錫等長(zhǎng)三角地區(qū)城市的傳統(tǒng)和優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)，近年來(lái)更朝著“技術(shù)含量高、附加值高”的高端裝備制造方向發(fā)展。這對(duì)制造業(yè)的“眼睛”——長(zhǎng)度幾何量測(cè)量的精度、范圍、種類(lèi)等提出了新的更高要求。為此，中國(guó)計(jì)量院、常州市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所牽頭，聯(lián)合無(wú)錫市計(jì)量測(cè)試中心、長(zhǎng)春理工大學(xué)、中航工業(yè)青島前哨精密儀器有限公司等多家單位，開(kāi)展了“新型多功能1m激光比長(zhǎng)儀”的研制，旨在為常州、無(wú)錫計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)分別搭建一套多功能、可擴(kuò)展的一維精密測(cè)長(zhǎng)設(shè)備和科研實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，提升其對(duì)周邊地區(qū)高端制造業(yè)在線(xiàn)紋尺等長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器校準(zhǔn)以及其它長(zhǎng)度幾何量精密測(cè)量方面的服務(wù)能力。

　　據(jù)中國(guó)計(jì)量院孫雙花副研究員介紹，裝置借鑒了中國(guó)計(jì)量院“激光干涉比長(zhǎng)儀線(xiàn)紋工作基準(zhǔn)”的精密激光干涉測(cè)長(zhǎng)、高精度光電顯微鏡動(dòng)態(tài)瞄準(zhǔn)、精密氣浮控制等關(guān)鍵技術(shù)，可以實(shí)現(xiàn)線(xiàn)紋尺、激光干涉儀及位移傳感器等的動(dòng)態(tài)高精度校準(zhǔn)。裝置主體采用天然花崗巖結(jié)構(gòu)，基于變形分析和建模進(jìn)行了精心設(shè)計(jì)，床身尺寸3.4m×1m×0.7m，整體重達(dá)9噸，導(dǎo)軌直線(xiàn)度實(shí)測(cè)優(yōu)于1μm/m，可有效避免移動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)致的機(jī)械變形，抗震性能好，長(zhǎng)期穩(wěn)定性?xún)?yōu)。此外，顯微鏡工作距離達(dá)到28mm，適用于各種厚度的線(xiàn)紋尺刻線(xiàn)面朝向物鏡或背向物鏡檢測(cè)，線(xiàn)紋尺校準(zhǔn)與其使用狀態(tài)一致，保障了量值傳遞的精度和可靠性。