日前，由中國計量科學(xué)研究院（以下簡稱“中國計量院”）聯(lián)合常州市計量測試技術(shù)研究所等單位研制的2臺“新型多功能1m激光比長儀裝置”，分別在江蘇省常州市計量測試技術(shù)研究所、無錫市計量測試中心實驗室完成線紋尺測量精度測試。裝置實現(xiàn)了線紋尺測量不確定度U=(0.1+0.1L)μm（k=3，L：m），重復(fù)性優(yōu)于30nm，達到了國內(nèi)先進水平，可以滿足目前已有線紋尺的動態(tài)高精度校準(zhǔn)，有效提升了相關(guān)計量技術(shù)機構(gòu)的一維長度精密測量能力水平。

　　裝備制造業(yè)是常州、無錫等長三角地區(qū)城市的傳統(tǒng)和優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)，近年來更朝著“技術(shù)含量高、附加值高”的高端裝備制造方向發(fā)展。這對制造業(yè)的“眼睛”——長度幾何量測量的精度、范圍、種類等提出了新的更高要求。為此，中國計量院、常州市計量測試技術(shù)研究所牽頭，聯(lián)合無錫市計量測試中心、長春理工大學(xué)、中航工業(yè)青島前哨精密儀器有限公司等多家單位，開展了“新型多功能1m激光比長儀”的研制，旨在為常州、無錫計量技術(shù)機構(gòu)分別搭建一套多功能、可擴展的一維精密測長設(shè)備和科研實驗平臺，提升其對周邊地區(qū)高端制造業(yè)在線紋尺等長度標(biāo)準(zhǔn)器校準(zhǔn)以及其它長度幾何量精密測量方面的服務(wù)能力。

　　據(jù)中國計量院孫雙花副研究員介紹，裝置借鑒了中國計量院“激光干涉比長儀線紋工作基準(zhǔn)”的精密激光干涉測長、高精度光電顯微鏡動態(tài)瞄準(zhǔn)、精密氣浮控制等關(guān)鍵技術(shù)，可以實現(xiàn)線紋尺、激光干涉儀及位移傳感器等的動態(tài)高精度校準(zhǔn)。裝置主體采用天然花崗巖結(jié)構(gòu)，基于變形分析和建模進行了精心設(shè)計，床身尺寸3.4m×1m×0.7m，整體重達9噸，導(dǎo)軌直線度實測優(yōu)于1μm/m，可有效避免移動工作臺運動導(dǎo)致的機械變形，抗震性能好，長期穩(wěn)定性優(yōu)。此外，顯微鏡工作距離達到28mm，適用于各種厚度的線紋尺刻線面朝向物鏡或背向物鏡檢測，線紋尺校準(zhǔn)與其使用狀態(tài)一致，保障了量值傳遞的精度和可靠性。