9月10日，由上海微技術(shù)工業(yè)研究院建設(shè)的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線正式啟動(dòng)，填補(bǔ)了我國微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器領(lǐng)域缺乏小批量中間性試驗(yàn)生產(chǎn)線的空白，力求實(shí)現(xiàn)我國芯片產(chǎn)業(yè)的自主可控。

　　微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器，是一種新型傳感器，具有小體積、低成本、集成化、智能化等優(yōu)點(diǎn)。在智能手機(jī)、可穿戴設(shè)備、消費(fèi)類無人機(jī)等消費(fèi)電子產(chǎn)品中，微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器具有極高“出鏡率”，幾乎每部智能手機(jī)至少都有一個(gè)微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器麥克風(fēng)，高端的智能手機(jī)甚至有三個(gè)。

　　傳感器位于整個(gè)物聯(lián)網(wǎng)的基礎(chǔ)層，是數(shù)據(jù)采集的入口，也是物聯(lián)網(wǎng)的基石。據(jù)《2016——2017年中國物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展年度報(bào)告》顯示，目前我國約60％的傳感器依賴進(jìn)口，而微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器幾乎全部依賴進(jìn)口。

　　中國科協(xié)副主席、上海微技術(shù)工業(yè)研究院創(chuàng)始人王曦院士認(rèn)為，要擺脫微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器對進(jìn)口的嚴(yán)重依賴，實(shí)現(xiàn)我國芯片產(chǎn)業(yè)的自主可控，當(dāng)務(wù)之急是要建立自主的8寸研發(fā)中試線。

　　8英寸研發(fā)中試線廠長游家杰說，我國微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器科研實(shí)力并不弱，沒有開發(fā)出領(lǐng)先產(chǎn)品是因?yàn)橹性嚟h(huán)節(jié)出現(xiàn)了斷檔?！把邪l(fā)單位做出的原型器件，不能馬上投入量產(chǎn)線，必須進(jìn)行小批量中試，把原型器件優(yōu)化成可以量產(chǎn)的工藝或產(chǎn)品。以前，國內(nèi)沒有這樣的研發(fā)中試線，由于試驗(yàn)量有限，大型代工廠不會(huì)接這樣的小單，許多科研成果都止步于原型器件。”

　　游家杰介紹說，新建成的研發(fā)中試線，目前規(guī)定產(chǎn)能是每月生產(chǎn)晶圓3000片左右，后期將達(dá)到5000片?！拔覀兛梢灾斡脩魪膸装倨缴锨漠a(chǎn)能需求，小規(guī)模訂單先在中試線上孵化，一旦前期市場測試成功，就可以把大批量訂單轉(zhuǎn)移給大型代工廠，開始規(guī)模量產(chǎn)。”

　　據(jù)介紹，該研發(fā)中試線擁有高等級微納加工超凈廠房，可全面開展傳感器芯片領(lǐng)域新工藝、新器件、新系統(tǒng)研發(fā)和小批量生產(chǎn)。目前，研發(fā)中試線主要專注于微機(jī)電系統(tǒng)智能傳感器研發(fā)，未來將拓展至“超越摩爾”新型非數(shù)字、多元化半導(dǎo)體產(chǎn)品技術(shù)的創(chuàng)新。