近期，中科院微電子所硅光子平臺器件完成了平臺工藝設計工具包（PDK）與國際主流光子集成設計軟件PhoeniX Software和Luceda Photonics IPKISS的集成，標志著微電子所建成國際一流的硅光子平臺。

　　硅光子技術是利用成熟的CMOS平臺和技術，采用硅基材料進行光電器件和芯片的開發(fā)與生產。該技術是后摩爾時代微電子跨領域發(fā)展的方向之一，也是光電子走向大規(guī)模集成的必然途徑。硅光子不僅在現(xiàn)階段的光通信、光互連領域有迫切的應用需求，在未來的芯片內光互連和光計算機上都有重要的應用前景。

　　微電子所硅光子平臺基于微電子所先導中心成熟的8英寸CMOS工藝線，與中國電科38所、中科院半導體所、武漢郵電科學院合作進行開發(fā)。通過硅光子器件庫的設計、流片、測試、優(yōu)化迭代，開發(fā)了成套硅光子制造工藝庫和器件庫，定義了平臺設計規(guī)則與圖層，形成了初版PDK內容。自2017年5月發(fā)布以來，平臺已承接國內30多家單位的MPW流片及定制流片，器件測試結果達到國際先進水平，得到了業(yè)內人士的高度評價。為了進一步提高平臺能力和規(guī)范服務流程，平臺近期與國際知名光子集成設計軟件商PhoeniX Software合作，將PDK內容與其設計軟件進行集成，開發(fā)了PhoeniX Software下的IMECAS軟件包。內嵌在OptoDesigner的IMECAS PDK除支持最基本的器件連接外，還支持版圖和仿真集成的設計環(huán)境、包括Manhattan型在內的多種智能布線、實時設計規(guī)則檢查、以及不依賴于具體工藝平臺的設計方法，可將基于其他平臺的設計高效轉移至微電子所硅光子平臺。

　　與此同時，由平臺合作開發(fā)伙伴中國電科38所主導開發(fā)了Luceda Photonics IPKISS下的IMECAS軟件包，包含了設計手冊、DRC腳本、器件庫等。其中器件庫以Compact Model形式提供，包含器件layout，以及基于測試數(shù)據(jù)的S-matrix模型，可利用IPKISS軟件提供的Caphe引擎完成光子鏈路仿真。

　　基于上述技術集成，微電子所硅光子平臺將為客戶提供更為便捷、靈活的產品設計方案，大大提高設計效率，有利于客戶的產品更快地投入到市場。

　　背景介紹：

　　PhoeniX Software公司始創(chuàng)于1991年，作為光電設計自動化先鋒，其業(yè)務覆蓋全球35個國家和地區(qū)，為全球主要晶圓廠如IMEC、CEA-LETI、VTT、INPHOTEC、SMART Photoncs、HHI、LioniX、Ligentec、美國Sandia、AIM和TowerJazz等提供內嵌在OptoDesigner軟件中的 PDK。

　　Luceda是國際知名的硅光子設計軟件工具提供商，主要提供硅光子和大規(guī)模集成光學軟件的專業(yè)工具，為用戶提供端到端的解決方案，是IMEC、IME、IHP、Ligentec、SmartPhotonics等光子集成供應商重要的合作伙伴。