產(chǎn)品詳情
工作溫度：300~1300℃ ◆有效口徑根據(jù)用戶擴(kuò)散片確定，可訂制 ◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度：1080mm（可根據(jù)用戶要求定制） ◆溫區(qū)精度（靜態(tài)閉管測(cè)試）： 600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃ 300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃ ◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性（靜態(tài)閉管測(cè)試）： 600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃/24h 300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃/24h ◆溫度斜變能力： 大可控升溫速度（300～1300℃）：15℃/min 大降溫速度（1300～900℃）：5℃/min ◆氣體流量設(shè)定精度：±2％FS ◆氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7PA.m3/s ◆自動(dòng)送料裝置行程：~2000mm 速度：5~1000mm/min SiC漿承重 19kg ◆裝片數(shù)量 400片/管 ◆凈化臺(tái)潔凈度 100級(jí)（10000級(jí)廠房） ◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz； ◆冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8L/min 太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散主要有開(kāi)管擴(kuò)散和閉管軟著陸擴(kuò)散兩種形式 ◆閉管磷擴(kuò)散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，偏磷酸、CL2分開(kāi)收集處理；工藝廢氣集中收集從尾部定向排出；各種工藝氣體可分開(kāi)送 入石英管內(nèi)，工藝氣體（三氯氧磷）可采用噴淋式方式引入到石英管內(nèi)。閉管軟著陸擴(kuò)散方式工藝過(guò)程完全不受外界環(huán)境干擾，工藝質(zhì)量 完全受保護(hù)。 ◆自動(dòng)化程度：自動(dòng)控制溫度及工藝過(guò)程。主控溫控模塊采用國(guó)外進(jìn)口，可在達(dá)到±0.25℃的控制精度。 ◆送取片方式：懸臂式推拉舟。采用側(cè)面布局的懸臂推拉結(jié)構(gòu)，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉機(jī)構(gòu)受腐蝕，影響推拉機(jī)構(gòu)的精確性。
