產(chǎn)品詳情
CXS系列旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機是我所根據(jù)市場需求研制開發(fā)的系列高潔凈度沖洗甩干設(shè)備。該產(chǎn)品主要用于硅圓片、掩模板、太陽能電池等其他類似材料的高潔凈度沖洗甩干。具有單腔、雙腔兩種結(jié)構(gòu)（也可按用戶要求配置）
性能特點
l 采用高性能可編程控制器實現(xiàn)邏輯控制。
l 采用彩色觸摸顯示屏監(jiān)控，可存儲百種用戶工藝菜單。
l 結(jié)構(gòu)采用凈化處理技術(shù)。
l 去離子水電阻率監(jiān)控。
l 防靜電控制。
l 氮氣溫度控制。
l 腔體溫度控制。
l 轉(zhuǎn)軸氮氣密封。
l 可選無刷電機驅(qū)動。
l 旋轉(zhuǎn)載體定位。
l 故障診斷、顯示及報警。
l 可按用戶特殊要求配制。
主要技術(shù)參數(shù)
l 最大加工硅片尺寸： 8″（片架連接按用戶要求配制）
l 工作腔數(shù)量 ： 1～2個（可選）
l 去離子水耗量： 5L/min（單腔單片盒）
l 去離子水壓力 ： 0.23～0.28MPa（2.3~2.8kgf/cm²）
l 氮氣耗量 ： 125L/min（單腔單片盒）
l 氮氣壓力 ：0.25~0.3 MPa（2.5~3 kgf/cm²）
l 氮氣過濾精度 ： ≤0.005μm
l 氮氣溫度控制：80℃
l 旋轉(zhuǎn)腔轉(zhuǎn)速：300～2400r/min
l 電源 ：AC220V±AC22V
l 外型 ：765×460×1800（雙腔單片盒）
730×460×1300（單腔單片盒）
l 重量： value="420" unitname="kg" w:st="on">420kg（雙腔單片盒）
value="240" unitname="kg" w:st="on">240kg（單腔單片盒）
華林科納國內(nèi)設(shè)有3個售后保障處，終生免費技術(shù)咨詢，24小時內(nèi)現(xiàn)場協(xié)助
