產(chǎn)品詳情
一、概述
目前低溫等離子體（溫度為2000～50000K）已得到廣泛應(yīng)用，工業(yè)上已成為一種重要的工藝手段，例如用等離子弧進(jìn)行切割、焊接、噴涂；制造各種新穎的光源和顯示器；熱電直接轉(zhuǎn)換的磁流體發(fā)電等。在化工部門，等離子體化學(xué)已成為一個(gè)十分活躍的新領(lǐng)域。在微電子工業(yè)，等離子體刻蝕和氣相沉積應(yīng)用得十分廣泛。以上情況表明，低溫等離子體已逐漸滲透到很多領(lǐng)域，展示了廣闊的前景。
二、用微波激發(fā)等離子體有如下優(yōu)點(diǎn)
1.有較高的電離和分解程度
2.電子溫度和離子溫度對(duì)中性氣體溫度之比非常高，運(yùn)載氣體保持合適的溫度。這個(gè)特性，在氣相沉積的情況下，可使基底的溫度不會(huì)過(guò)高。
3.能在高氣壓下維持等離子體。
4.沒(méi)有內(nèi)部電極，在等離子容器內(nèi)，沒(méi)有工作氣體以外的任何物質(zhì)，是潔凈的，無(wú)污染源。等離子發(fā)生器可以保持長(zhǎng)壽命。
5.等離子可以采用磁約束的方法，約束在約定的空間內(nèi)，微波結(jié)和磁路可以兼容。
6.安全因素高。高壓源和等離子體發(fā)生器互相隔離，這是直流等離子體不能達(dá)到的。微波泄漏小，容易達(dá)到輻射安全標(biāo)準(zhǔn)。這是高頻感應(yīng)等離子體難以達(dá)到的。
7.微波發(fā)生器是穩(wěn)定的，易控的。
8.微波等離子體，在許多情況下是一種比較寧?kù)o的等離子體，不象直流放電那樣伴隨很高的噪聲級(jí)。
三、微波激發(fā)等離子體的多種形式
1.微波傳輸線和諧振腔。
2.慢波結(jié)構(gòu)邊緣場(chǎng)。
3.近場(chǎng)微波天線。
4.同軸基表面波激發(fā)等離子體柱和波導(dǎo)基表面波激發(fā)等離子體柱。
5.利用電子回旋共振激發(fā)等離子體。
目前低溫等離子體（溫度為2000～50000K）已得到廣泛應(yīng)用，工業(yè)上已成為一種重要的工藝手段，例如用等離子弧進(jìn)行切割、焊接、噴涂；制造各種新穎的光源和顯示器；熱電直接轉(zhuǎn)換的磁流體發(fā)電等。在化工部門，等離子體化學(xué)已成為一個(gè)十分活躍的新領(lǐng)域。在微電子工業(yè)，等離子體刻蝕和氣相沉積應(yīng)用得十分廣泛。以上情況表明，低溫等離子體已逐漸滲透到很多領(lǐng)域，展示了廣闊的前景。
二、用微波激發(fā)等離子體有如下優(yōu)點(diǎn)
1.有較高的電離和分解程度
2.電子溫度和離子溫度對(duì)中性氣體溫度之比非常高，運(yùn)載氣體保持合適的溫度。這個(gè)特性，在氣相沉積的情況下，可使基底的溫度不會(huì)過(guò)高。
3.能在高氣壓下維持等離子體。
4.沒(méi)有內(nèi)部電極，在等離子容器內(nèi)，沒(méi)有工作氣體以外的任何物質(zhì)，是潔凈的，無(wú)污染源。等離子發(fā)生器可以保持長(zhǎng)壽命。
5.等離子可以采用磁約束的方法，約束在約定的空間內(nèi)，微波結(jié)和磁路可以兼容。
6.安全因素高。高壓源和等離子體發(fā)生器互相隔離，這是直流等離子體不能達(dá)到的。微波泄漏小，容易達(dá)到輻射安全標(biāo)準(zhǔn)。這是高頻感應(yīng)等離子體難以達(dá)到的。
7.微波發(fā)生器是穩(wěn)定的，易控的。
8.微波等離子體，在許多情況下是一種比較寧?kù)o的等離子體，不象直流放電那樣伴隨很高的噪聲級(jí)。
三、微波激發(fā)等離子體的多種形式
1.微波傳輸線和諧振腔。
2.慢波結(jié)構(gòu)邊緣場(chǎng)。
3.近場(chǎng)微波天線。
4.同軸基表面波激發(fā)等離子體柱和波導(dǎo)基表面波激發(fā)等離子體柱。
5.利用電子回旋共振激發(fā)等離子體。
