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愛德華QDP80真空泵維修 BOC EDWARDS PUMP

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
1 40000元/臺(tái)
  • 供貨總量： 電議
  • 最小起訂： 1臺(tái)
  • 發(fā)貨地址： 深圳
  • 付款方式： 面議
  • 發(fā)布日期：2014-03-04
  • 訪問量：532
咨詢電話：153-3650-8688
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第13年

深圳騰標(biāo)電子科技有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌 愛德華 規(guī)格型號(hào) 完善
編號(hào) 齊全 計(jì)量單位 1臺(tái)
付款方式 面議 參考價(jià)格 40000
價(jià)格單位 人民幣 供貨量 不限
說明書，報(bào)價(jià)手冊(cè)及驅(qū)動(dòng) 暫無相關(guān)下載 其他資料下載 暫無相關(guān)下載
產(chǎn)地 本地 發(fā)貨地 深圳

產(chǎn)品詳情

 Edwards QDP80是一種四級(jí)，正排量的干式真空泵，應(yīng)用范圍包括等離子刻蝕，LPCVD，PECVD和MOCVD的Loadlock腔室以及濺射工藝。

 

規(guī)格參數(shù)：

Edwards  QDP80
項(xiàng)     目 參     數(shù)
Warm-Up Time 15 min
Inlet Connection ISO 63 Bolted
Outlet Connection NW40
Peak Speed 80 m3h-1
47 ft3min-1
Displacement 91.5 m3h-1
53.9 ft3min-1
Ultimate Vacuum 3 x 10-2 mbar
2.3 x 10-2 Torr
Power Input at vacuum 2.6 kW
Rated Motor Power 4.0 kW

 

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