產(chǎn)品詳情
BOC Edwards IH600系列干泵在極端環(huán)境（顆粒，腐蝕物）下有著高可靠性，例如PECVD，LPCVD中。IH600工作在大氣壓和極限壓力之間，無需潤滑，這樣就確保了油不會被反抽到系統(tǒng)中。IH600系統(tǒng)有一個HCDP80干泵；HCMB-600干泵。IH600系統(tǒng)適用于無風(fēng)冷電機的潔凈環(huán)境中。IH600干泵系統(tǒng)還擁有運送清潔氣體進(jìn)入HCDP泵的氣體系統(tǒng)，適用于制程物嚴(yán)重的工藝中。使用在較低要求的工藝下可共同改變氣體排放模式改變N2消耗量。通過顯示終端可手動控制真空系統(tǒng)。另外，可以通過接口模塊或即時通訊模塊或IH單設(shè)備監(jiān)控器使用其他控制設(shè)備去操作IH干泵系統(tǒng)。
半導(dǎo)體晶圓廠的應(yīng)用包括：
LOADLOCK
傳送
測量
光刻
物理氣相沉積工藝
物理氣相沉積預(yù)清潔
快速熱退火退火
去膠
蝕刻
高密度等離子化學(xué)氣相沉積
高密度等離子體化學(xué)氣相沉積快速熱處理
大氣化學(xué)氣相沉積sacvd
鎢化學(xué)氣相沉積
鎢化學(xué)氣相沉積
等離子體增強化學(xué)氣相沉積
低壓化學(xué)氣相淀積。
規(guī)格參數(shù)：
| Edwards IH600 | |
| 項 目 | 參 數(shù) |
| Inlet Connection | ISO 100 |
| Outlet Connection | NW40 |
| Peak Speed |
518 m3h1 8635 1min-1 305 CFM |
| Ultimate Vacuum |
2 x 10-3 mbar 1.5 x 10-3 Torr |
| Power Input at vacuum | 3.1 kW |
| Rated Motor Power | 5.1 kW |
| Weight | 913 kg/lbs. |
