產(chǎn)品詳情
WB300采用專利高密度微波等離子技術(shù)，用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔和等離子體預(yù)處理，微波等離子高度活性、高效，且不會對電子裝置產(chǎn)生離子損害。 微波等離子體系統(tǒng)是下列用途的理想方式： 
等離子體表面改性
有機物表面等離子體清潔
邦定強度增強
等離子體刻蝕應(yīng)用
等離子體灰化應(yīng)用
增強或減弱浸潤性
其它等離子體系統(tǒng)應(yīng)用
>> 技術(shù)參數(shù) ◆ 外形尺寸(不包括報警燈)
◆ 充氣系統(tǒng)
1000(W)×800(D)×1750(H)mm
◆ 倉體結(jié)構(gòu)(石英，約20升)Φ 245mm ×400Lmm
◆ 等離子發(fā)生器(德國)頻率2.45GHZ,功率0-1000W連續(xù)調(diào)節(jié),可連續(xù)長時間工作
◆ 控制系統(tǒng)觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動控制)英國愛德華斡旋式干泵 GV40
美國MKS真空壓力控制節(jié)流閥及薄膜式傳感器
臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管
美國MKS高精度電子質(zhì)量流量計(2路氣體配制)
美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件
