產(chǎn)品詳情
離子探針利用電子光學(xué)方法把惰性氣體等初級離子加速并聚焦成細(xì)小的髙能離子束轟 樣品表面，使之激發(fā)和濺射二次離子，經(jīng)過加速和質(zhì)譜分析，分析區(qū)域可降低到直徑2fzm和<5~171的深度，大大改善了表面成分分析的功能。一些對比數(shù)據(jù)可以看到，離子探針在分析深度、采樣質(zhì)量、檢測靈敏度、可分析元素范圍和分析時間等# 面，均優(yōu)于電子探針。但初級離子束聚焦困難使離子探針束斑較大，影響了空間分辨率，性和定量分析的性能常常是不很令人滿意的。幾種表面微區(qū)成分分析技術(shù)的性能對比
在可控的條件下利用初級離子轟擊濺射剝離，可以獲得元素濃度隨深度變化的數(shù)據(jù)，率為I~100Mm/S，因轟擊能量和樣品而異。當(dāng)初級離子束在樣品表面掃描時，選擇某離 戶信號強度調(diào)制同步掃描的陰極射線管熒光屏亮度，可以顯示元素面分布的圖像對于原子序數(shù)較低的一些輕元素的分析技術(shù)，近年來雖有了不少進展，可是無論從定性 EdS定量分析的角度看，仍有許多方面需要大力改善和提高。
射線衍射分析（XRD)任何一種合金相（固溶體、化合物等）都具有自己特定的晶體結(jié)構(gòu)，在X射線衍射時 書要產(chǎn)生一定的X射線衍射譜。根據(jù)X射線衍射譜的特點，可以判斷合金相的晶體結(jié)構(gòu)和相是否存在（定性分析）；根據(jù)衍射線的強度分布情況，可以判斷各種合金相的相對數(shù)(定量分析）。
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