| 微機電傳感器可以為那些對位置敏感的任務,以及其它需要慣性數(shù)據(jù)的應用提供高分辯率的運動數(shù)據(jù)。該傳感器大小只有2.4mm2,感測旋轉運動的角速度可達每秒數(shù)度的精度。 ---- Microsensor公司（位于美國加州的Costa Mesa）開發(fā)的硅微環(huán)陀螺儀 ( Silicon MicroRing Gyro ),是一種采用微機電技術制造的角速度陀螺儀。此陀螺儀是為了滿足對體積小、價格便宜慣性傳感器的需求而開發(fā)的,因此采用比較簡單的工藝技術。 ---- 此陀螺儀的一項應用,是給手持電話、PDA以及車輛增加慣性追蹤的能力,以便為校準其中的GPS導航儀誤差,提供基準的運動數(shù)據(jù)。其它方面的應用還有：車輛的安全系統(tǒng)、報警裝置和安全設施。這些應用范圍既要求對運動感測準確,又要求具有一般人愿意接受的消費品價格水平,以便能迅速開拓市場。 ---- 只要陀螺儀的輸入軸一旋轉,陀螺儀就在一個振蕩元件中感知產(chǎn)生的科里奧利力。力的大小和旋轉的角速度成正比。 
圖：Silicon MicroRing Gyro陀螺儀大小只有2.4mm2,
測量旋轉角速度的精度可達每秒速度。 ---- 陀螺儀采用簡化了的設計,在制造過程中只用五套掩模版,降低了制造成本。由于采用的掩模版數(shù)量較少,也減少了由于工藝中的偏差累積產(chǎn)生的影響。此陀螺儀在設計上將信號產(chǎn)生元件和信號讀出部分分隔開來,減少了內部的相互干擾,使設計得以簡化。 ---- 此器件的工作電壓為4.25到5.25V。感測的旋轉角速度范圍為±60°/s。靈敏度為26mV/°/s。帶寬為7Hz�？煽�1,500 g 的震動。可在－40°到+85°的環(huán)境溫度范圍內工作。 ---- 此陀螺儀和該公司的通用容抗讀出芯片( Universal Capacitive Readout Chip )配套使用。芯片是一個面積為5mm2 的ASIC,是專門為讀出和控制MEMS器件設計的。（參看《今日電子》今年第3期P.34。此Silicon MicroRing Gyro陀螺儀今年年底可供貨,當批量生產(chǎn)時目標價格定位在每只低于20美元。如欲了解更多情況,請和Carl Gellis先生聯(lián)系。電話為：001-714-444-8770;e-mail為：cgellis@microsensors.com ;或請訪問網(wǎng)址：http://www.microsensors.com。 |
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