歐姆龍電子公司開發(fā)了一種超小型射頻繼電器的原型產(chǎn)品,這種繼電器利用MEMS技術(shù)轉(zhuǎn)換高達(dá)20GHz信號(hào)。這種1.8mm×1.8mm×1mm的顯微機(jī)械加工繼電器（MMR）尺寸只有歐姆龍公司的G6K系列等最小的普通機(jī)電繼電器的百分之一,是世界最小的接觸繼電器之一。此外,MMR的介入損失小于等于1.3dB,絕緣大于等于20dB,其射頻性能是迄今為止任何繼電器不能比的。
在機(jī)電器件不能滿足規(guī)格要求時(shí)通常使用半導(dǎo)體轉(zhuǎn)換器。不過,這些器件有幾個(gè)不足,包括轉(zhuǎn)換信號(hào)功率損失大,帶寬窄,以及在轉(zhuǎn)換時(shí)產(chǎn)生雜散射頻,需要額外的射頻過濾器等。
MMR采用專利的垂直直通結(jié)構(gòu),在這種結(jié)構(gòu)中,一條連接焊點(diǎn)的導(dǎo)線被垂直做在襯底中。轉(zhuǎn)換是通過MEMS制造產(chǎn)生的實(shí)際活動(dòng)機(jī)械觸點(diǎn)完成的。
其他規(guī)格包括頻率范圍2～20GHz,轉(zhuǎn)換速度1ms。該器件采用24V控制信號(hào)。
該器件力爭(zhēng)2004年實(shí)現(xiàn)商品化。進(jìn)一步信息,請(qǐng)洽日本東京歐姆龍公司Christopher Udell,電子郵件：christopher_udell@omron.co.jp。
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