| 德國Infineon技術(shù)公司的集成電路研究人員取得了一項碳納米管技術(shù)突破,他們在6英寸圓片的預(yù)先指定的地方生長出了碳納米管(carbon nanotubes, CNT)。Infineon希望利用這個發(fā)現(xiàn)用CNT取代芯片中的所有金屬導(dǎo)線。 
CNT的眾多特色(包括更高的可靠性和更高的片上時鐘頻率)使它成為未來半導(dǎo)體技術(shù)的最佳材料選擇。不過,到目前為止,制作CNT的方法,如激光燒蝕和弧光放電,難以同半導(dǎo)體技術(shù)相結(jié)合。
CNT的最重要性質(zhì)之一是高電導(dǎo)率,允許通過大電流密度——高達(dá)1010A/cm2(銅在107A/cm2就開始熔化)。研究人員預(yù)計10年內(nèi)芯片接線必須能承受高達(dá)3.3×106A/cm2的密度,這用普通導(dǎo)線很難做到。
電流在CNT中流動時沒有摩擦,因此不會產(chǎn)生剩余熱量。熱量只存在于同其他材料的接觸點。CNT的高熱導(dǎo)率幾乎是鉆石(3000W/m-K)的兩倍。
這項突破性技術(shù)的第一個應(yīng)用是在通孔方面。因為電流密度和熱量大,普通通孔往往使芯片的運算功能失真。
雖然Infineon的科學(xué)家希望CNT最終將完全取代硅半導(dǎo)體技術(shù),但他們的下一步是把當(dāng)前的二維微電子技術(shù)用CNT擴展到適當(dāng)?shù)娜S技術(shù)。有關(guān)CNT的進(jìn)一步信息,請洽Infineon技術(shù)公司Toni Goodrich,電話:408-501-6382,或訪問http://www.infineon.com。
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