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Cymer推出雙腔193納米ArF激光源
Cymer推出雙腔193納米ArF激光源
作者:佚名  來(lái)源:不詳  錄入:Admin  更新時(shí)間：2008-8-17 20:12:30  點(diǎn)擊數(shù)：4
【字體： 字體顏色】
XLA100 ArF光源是性能卓越的高級(jí)光刻的工作光源,擁有三個(gè)深紫外(DUV)波長(zhǎng)。作為世界上第一個(gè)雙腔光源,XLA100與主控振蕩器功率放大器整合在一起,雙腔技術(shù)造就了行業(yè)內(nèi)功率最大,帶寬最窄的光源,并且也具有193納米光刻的量產(chǎn)優(yōu)勢(shì)。通過(guò)將電源與帶寬發(fā)生器相分離,克服了由于成本方面的考慮而帶來(lái)的局限性,這種局限性限制了新光源的設(shè)計(jì)。主控振蕩器功率放大器驅(qū)動(dòng)的XLA100使芯片生產(chǎn)商能達(dá)到更高的產(chǎn)量,更小的臨界尺寸,這些都是下一代DUV光刻所需要的。在這種獨(dú)特的雙腔設(shè)計(jì)下,XLA100和其他的未來(lái)光源將能夠在高功率下達(dá)到非常嚴(yán)格的帶寬性能,與現(xiàn)在的單腔結(jié)構(gòu)相比能顯著的降低成本
。 

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