全新的ComPlus-EV系統(tǒng)是一套能為90納米量產(chǎn)提供高速晶圓檢測的系統(tǒng),功能涵蓋所有暗視野應用與關鍵的明視野應用。這套系統(tǒng)運用專用的Enlarged GrayField技術,每小時可檢測60片晶圓,捕捉缺陷能力比原先系統(tǒng)快五成。 運用Enlarged GrayField技術,ComPlus-EV系統(tǒng)能在量產(chǎn)速度下檢測各種缺陷,包括超微小與平面圖案缺陷,以及化學機械研磨后的銅導線與微影制程出現(xiàn)的缺陷。ComPlus-EV系統(tǒng)同時具有新型的EZSet自動配方裝置,可大幅減少配方調配,節(jié)省時間,提高系統(tǒng)生產(chǎn)效率。
另外,這套系統(tǒng)還內(nèi)建連結SEMVision缺陷檢查系統(tǒng),可快速提供資料,進行錯誤偵測。另外,這套系統(tǒng)配有多視野功能,加強系統(tǒng)執(zhí)行額外的明視野應用能力,包括檢測在晶體管層如STI、閘與鎢導線出現(xiàn)的缺陷。多視野功能選項可擴增這套系統(tǒng)的檢測與放大功能,進而提升檢測平面缺陷的敏銳度,增加產(chǎn)出,降低成本。
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