Agilent在展會期間宣布,為單芯片系統(tǒng)(SOC)、閃存和參數(shù)測試提供新型的測試解決方案。并將在Versatest內(nèi)存測試系列中增加一款新產(chǎn)品—— Agilent V4000,同時將推出為中國市場量身定制的新型參數(shù)測試系統(tǒng)。Agilent Versatest V4000,讓工程師在辦公室桌面上即可完成代碼驗證。安捷倫科技半導體測試事業(yè)部上海分公司總經(jīng)理于慶鎖介紹,V4000是一套完整的單一平臺系統(tǒng),適用于從工程開發(fā)到大批量生產(chǎn)的完整流程,通過使用與生產(chǎn)測試系統(tǒng)相同的Site模塊和軟件,讓工程師在桌面上或在分布式工作環(huán)境中開發(fā)測試腳本,而不會降低性能及兼容性。
省錢的解決方案
提高自身的市場競爭力,降低成本,提高產(chǎn)出是各半導體制造廠與封裝廠追求的目標。設備廠商也在性價比方面潛心鉆研,為制造廠商提供了多種省錢的方法。
致力于為用戶提供低成本測試解決方案的Credence提出了設備“能滿足用戶10年需求”的概念。Credence亞洲區(qū)總經(jīng)理Peter Zung說：“Credence在儀器設計階段就以用戶能使用10年為標準�！北ＷC了設備的使用壽命,設備的折舊就得到了有效的降低。在一些價格敏感的測試領域,為了降低測試成本,延長測試設備的使用時間,同時縮短測試周期,Credence的同一平臺測試產(chǎn)品擁有多種測試儀器供用戶選擇,單個芯片的測試成本有時可低至幾分錢。Credence的產(chǎn)品以性價比高為主要特點,由于公司專注于ATE市場,順應市場變化而將產(chǎn)品轉(zhuǎn)型的速度更快,平臺的更新也較競爭對手有更高的頻率。
Peter Zung （Credence）：在儀器設計階段就以用戶能使用10年為標準,能有效降低測試成本。
如何通過減少設備的采購、減少后期的維護與運營成本而達到更好的檢測效果也是晶圓廠追求的目標。此次Applied Materials在SEMICON China期間重點介紹的ComPlus晶圓圖像檢測系統(tǒng)即是對這一追求理念的體現(xiàn)。ComPlus是針對90nm~45nm技術而設計的,用于光刻后線寬的檢測。ComPlus采用全自動化操作,可以7天24小時運行,避免了人為因素的影響。同時由于提高了設備的重復性和穩(wěn)定性,使設備之間的誤差降低到了1nm以下,從而避免了不同系統(tǒng)間檢測的差異,解決了光刻后檢測的瓶頸。自動化與系統(tǒng)的高重復和穩(wěn)定性保證了晶圓廠可以使用更少的設備進行檢測。“全部采用ComPlus作為檢測設備后,與同類產(chǎn)品相比可節(jié)省30％的設備數(shù)量,同時減少占地面積,減少操作人員。而且由于設計水平已達到45nm,所以既使在領先的晶圓廠,其使用壽命也將在5年以上�！�
Advanced Energy為了降低了產(chǎn)品的制造成本,已于2003年初在深圳設立了制造廠,到2004年底,該公司70％的電源和流量計產(chǎn)品都將在深圳生產(chǎn)�！半m然Advanced Energy的主要客戶是設備OEM廠商,如Applied Materials、Lam Research、Novellus等公司,但在中國生產(chǎn)的成本降低遠大于運輸?shù)荣M用,而且可以為中國客戶提供最有價格競爭力的高質(zhì)量產(chǎn)品。” Advanced Energy執(zhí)行副總裁兼市場官員Craig Jeffries說。
FSI也以化學品消耗少、產(chǎn)量高、靈活性高,使用成本低,一個系統(tǒng)可以使用多種技術為追求目標。FSI主席兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說：“Mercury系統(tǒng)在中國的大量使用,正好說明了我們在中國芯片制造商降低成本中所起的作用,因為使用FSI設備的中國工廠都享受到低運行成本和低風險的好處�！�
外延設備供應商LPE和刻蝕與清洗設備供應商Stangl由于主要為研究所或分立元器件或6寸以下半導體制造公司提供小型化或簡單設備,準確的市場定位避免了為設備配置不必要的功能,與一些小型化的二手設備相比,他們的設備性能更高,技術更新,也是一些客戶省錢的選擇之一。
一些中國臺灣、新加坡和為數(shù)不多的中國本土廠商的展臺前也經(jīng)常是人頭攢動。相對于歐美公司,他們的產(chǎn)品更具有成本優(yōu)勢。臺灣漢民（Hermes-Epitek）的電子束檢測等設備、新加坡奕力（ellipsiz）的半導體制造解決方案、三佳集團的封裝模具設備都成為了觀眾關注的熱點。
GE Global Electronics Solutions中國區(qū)高級設備銷售經(jīng)理吳應煌還向中國客戶推薦了一種“設備租賃”的國際模式,即不用花太多的錢租賃新設備,保持技術的領先性,租賃1~3年后再換更新的設備。這種模式在一些國際領先的半導體廠有成功的應用范例,而當中國的技術水平提高后,也將是一種保持技術領先性的省錢的解決方案�！笆褂枚衷O備在產(chǎn)品和技術還不確定的情況下是一種非常好的解決方案,業(yè)界應該轉(zhuǎn)變使用二手設備代表技術落后的負面反應�！眳菓驼f。
e化服務
7×24的生產(chǎn)需要7×24的產(chǎn)品支持,以確保設備正常運行時間的最大化。KLA-Tencor引入了在線支持的功能－iSupport,在提供傳統(tǒng)現(xiàn)場專家服務的基礎上提供7×24的在線技術專家支持。本地化語言,以及遠程診斷等功能均被嵌入到了每一套KLA-Tencor設備中。前20位半導體制造商中有17家正在使用iSupport功能。從反饋的情況來看,近30％的問題完全可以利用iSupport解決,大于60％的問題可以通過在線支持的協(xié)助而解決,因此有效的減少了現(xiàn)場工程師的診斷時間,加快了故障的排除。
伊智（Electroglas）在本屆展會上推出了基于網(wǎng)絡的工藝分析與控制軟件SORTmanager R4,它提供的網(wǎng)絡環(huán)境將晶圓探針臺與終測機械手設備連接到更廣泛的測試設備,然后通過網(wǎng)絡瀏覽器收集、分析重要的測試工藝信息,送給相關人員,迅速采取行動,以提供測試的總體效果,Electroglas亞洲區(qū)副總裁Dan Fields介紹說。
合作打市場
中國半導體制造產(chǎn)業(yè)還處于起步階段,中國的半導體設備供應商正在采用與領先設備廠商合作的方法獲得相關技術,利用自己的成本優(yōu)勢,迅速進入市場。
