一、引言
隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)建設(shè)步伐的加快，汽車開始越來(lái)越多的進(jìn)入現(xiàn)代家庭，汽車電子也因此受到更多的重視。近些年來(lái)，國(guó)內(nèi)外眾多企業(yè)和學(xué)術(shù)科研機(jī)構(gòu)投入了大量的人力物力，研究和開發(fā)新的汽車電子技術(shù)，并在某些領(lǐng)域取得了許多突破性的進(jìn)展。
傳感器技術(shù)作為現(xiàn)代工業(yè)控制四大支柱產(chǎn)業(yè)，在汽車電子的設(shè)計(jì)研究中占有突出的地位，傳感器已成為汽車控制系統(tǒng)中的一個(gè)重要組成部分。通常一輛現(xiàn)代化的汽車，裝備的傳感器數(shù)可多達(dá)50個(gè)～60個(gè)，而國(guó)外有些高級(jí)轎車，其裝備的傳感器數(shù)已達(dá)到數(shù)百個(gè)，至于概念型汽車裝備的傳感器數(shù)就更多了。傳感器已成為世界裝備市場(chǎng)上增長(zhǎng)最快的領(lǐng)域之一。
事實(shí)上，應(yīng)用于汽車上的傳感器有很多種，目前主要有：溫度傳感器、壓力傳感器、流量傳感器、位移傳感器以及速度、加速度傳感器等等。這些汽車傳感器的銷售量約占有傳感器總銷售量的三分之一，其中流量傳感器就是非常重要的一種傳感器。
二、LMM-01的工作原理
流量傳感器主要用于檢測(cè)發(fā)動(dòng)機(jī)的空氣進(jìn)氣量和燃油噴射量，從而將空燃比控制在最佳值附近，此外流量傳感器還廣泛利用于排氣再循環(huán)、防滑驅(qū)動(dòng)、剎車防抱死系統(tǒng)以及電控懸架等許多方面。目前市場(chǎng)上用于檢測(cè)燃料流量的傳感器主要有水輪式和循環(huán)球式，其動(dòng)態(tài)范圍為0kg/h～60kg/h，工作溫度在－40℃～120℃，精度為1％，響應(yīng)時(shí)間為 10ms。
而由于氣體的可壓縮性，通常我們檢測(cè)氣體質(zhì)量流量，市場(chǎng)上主要使用的有熱線式流量傳感器。這種傳感器采用熱耗散原理，將一個(gè)熱線式敏感元件安放在空氣入口的旁路中，在輔助熱線元件的溫度補(bǔ)償作用下，檢測(cè)空氣質(zhì)量流量。但是這種傳感器的缺點(diǎn)是不能檢測(cè)空氣流量的回流波動(dòng)。此外檢測(cè)氣體流量的傳感器還有熱膜式流量傳感器、卡爾曼旋渦式傳感器和壓力式傳感器。
LMM-01流量傳感器是一種基于傳統(tǒng)的熱膜片風(fēng)力計(jì)原理的新型傳感器。該傳感器是借助先進(jìn)的薄膜片技術(shù)，將性能穩(wěn)定的薄膜片電阻加工到一片薄膜上。由于采用了MEMS加工，因此一方面縮短了傳感器響應(yīng)時(shí)間，另一方面也能測(cè)量出了回流流量。LMM-01的原理電路圖可以參見圖1所示，由于采用了前后橋電路，所以我們可以很方便的判斷出流體流向，從而進(jìn)一步測(cè)量出回流流量。
為了防止溫度變化對(duì)測(cè)量精度的影響，傳感器中采用了兩片熱敏電阻分別對(duì)前后橋進(jìn)行了溫度補(bǔ)償。為了提高精度，兩片用于測(cè)量溫度的熱敏電阻6、7與流體流向9平行布置，而用于測(cè)量流體流量的兩片熱電阻傳感器4、5互相平行并與流向9垂直布置（如圖2所示），其中3為傳感部件，17、18都是 數(shù)量級(jí)的SiO2薄膜，19為Si底層，20為帶狀電導(dǎo)。
