背景資料
在半導(dǎo)體行業(yè)，自動化系統(tǒng)被用于硅晶片到芯片的加工處理。在這個過程中，為了蝕刻硅晶片表面，會用到快速熱處理、快速熱退火和快速熱化學(xué)蒸汽蒸鍍（RTCVD）。
被稱為晶簇工具的整個系統(tǒng)，包括多個過程，構(gòu)成了擁有三個過程模塊和一個冷卻腔的自動化港。過程模塊包括了先進的半導(dǎo)體晶片加工所需要的各種自動化設(shè)備。
習(xí)慣上，半導(dǎo)體行業(yè)的OEM利用他們自己所擁有的硬件和軟件構(gòu)件系統(tǒng)，利用C++或其他代碼程序進行控制。晶簇工具的開發(fā)商發(fā)現(xiàn)，采用復(fù)雜的編程語言工作增加了開發(fā)時間和培訓(xùn)需要，而計算機也常常崩潰且難以調(diào)整。此外，半導(dǎo)體行業(yè)需要一種標(biāo)準借口，在系統(tǒng)開發(fā)中使用多個RS232通信口。這些復(fù)雜的需求使得快速而方便地開發(fā)系統(tǒng)面臨著一定的挑戰(zhàn)。
問題的提出
半導(dǎo)體晶簇工具的一個特殊開發(fā)商——也是IBM、Inbbb、摩托羅拉（Motorola）、東芝（Toshiba）等公司的供應(yīng)商——覺得，控制晶片加工系統(tǒng)的傳統(tǒng)方法有著很大的改進空間，從而引發(fā)了超越傳統(tǒng)的半導(dǎo)體技術(shù)的新技術(shù)的研究。
公司需要這樣一個解決方案，它能夠?qū)ιa(chǎn)過程進行管理控制，能夠?qū)γ總€不同模塊的特殊功能進行控制，并且，每塊模塊都可以進行三軸運動控制。除此之外，它需要一個組態(tài)方便、可靠的接口，以便操作人員輸入和反饋數(shù)據(jù)。
為了不浪費高成本的凈化空間，整個系統(tǒng)必須緊湊、易于安裝和組態(tài)。從最初的加工系統(tǒng)的開發(fā)，到整個系統(tǒng)的構(gòu)件，絕大部分晶片加工公司需要12至14個月——這部分時間必須縮減。
解決方案
根據(jù)一個管理人員以前的經(jīng)驗，公司找到了羅克韋爾自動化，探討了羅克韋爾自動化的自動化和控制技術(shù)用于半導(dǎo)體行業(yè)的可行性。羅克韋爾自動化提供了最新的產(chǎn)品，公司也意識到，Allen-Bradley的可編程序控制器能夠提供開發(fā)和運行控制系統(tǒng)所需要的速度、靈活性、可靠性，且使用方便。
：鞏經(jīng)理
：13915946763
：南京塞姆泵業(yè)有限公司
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