MOEMS壓力傳感器探討
微型光機(jī)電系統(tǒng)（MOEMS）技術(shù)是一門新興的技術(shù)，其應(yīng)用涉及光通信、光顯示、數(shù)據(jù)存儲和光學(xué)傳感等諸多方面，而利用這種技術(shù)制作的光學(xué)壓力傳感器更是具有傳統(tǒng)壓力傳感器無可比擬的優(yōu)點。本文著重介紹了MOEMS壓力傳感器的結(jié)構(gòu)、工作原理以及制作工藝，并簡要介紹了MOEMS壓力傳感器陣列的結(jié)構(gòu)和制作工藝。
一、引言
微型光機(jī)電系統(tǒng)（MOEMS）是微光學(xué)、微電子和微機(jī)械三者結(jié)合的產(chǎn)物，也是機(jī)、電、光、磁、化學(xué)、傳感技術(shù)等多種技術(shù)的綜合。作為光電信號轉(zhuǎn)換系統(tǒng)，MOEMS的應(yīng)用遍及光通信、光顯示、數(shù)據(jù)存儲、自適應(yīng)光學(xué)及光學(xué)傳感等多個方面。利用MOEMS技術(shù)制作的新型光器件，介入損耗小，光路間相互串?dāng)_極低，對光的波長和偏振不敏感，并且通常以硅為主要材料，從而使器件的光學(xué)、機(jī)械、電氣性能優(yōu)良；而且，由于采用了模塊化設(shè)計，更加方便了擴(kuò)展應(yīng)用。
與MEMS系統(tǒng)相比較，MOEMS系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)并不復(fù)雜，可是實際制造的復(fù)雜程度更高，實施的困難更大。因為系統(tǒng)必須留出一條光通道，但是其核心芯片卻要密閉封裝以防敏感的光學(xué)器件受到外界光線的影響，其
一、引言
微型光機(jī)電系統(tǒng)（MOEMS）是微光學(xué)、微電子和微機(jī)械三者結(jié)合的產(chǎn)物，也是機(jī)、電、光、磁、化學(xué)、傳感技術(shù)等多種技術(shù)的綜合。作為光電信號轉(zhuǎn)換系統(tǒng)，MOEMS的應(yīng)用遍及光通信、光顯示、數(shù)據(jù)存儲、自適應(yīng)光學(xué)及光學(xué)傳感等多個方面。利用MOEMS技術(shù)制作的新型光器件，介入損耗小，光路間相互串?dāng)_極低，對光的波長和偏振不敏感，并且通常以硅為主要材料，從而使器件的光學(xué)、機(jī)械、電氣性能優(yōu)良；而且，由于采用了模塊化設(shè)計，更加方便了擴(kuò)展應(yīng)用。
與MEMS系統(tǒng)相比較，MOEMS系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)并不復(fù)雜，可是實際制造的復(fù)雜程度更高，實施的困難更大。因為系統(tǒng)必須留出一條光通道，但是其核心芯片卻要密閉封裝以防敏感的光學(xué)器件受到外界光線的影響，其
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