產(chǎn)品詳情
ASML 4022.472.88412阿斯麥
ASML 4022.472.88412阿斯麥半導(dǎo)體設(shè)備簡介與參數(shù)解析
一、產(chǎn)品概述ASML 4022.472.88412是荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML(Advanced Semiconductor Materials Lithography)研發(fā)的高精度光刻機(jī)型號,屬于其先進(jìn)制造系統(tǒng)(Advanced Manufacturing System)系列。該設(shè)備專為晶圓制造中的納米級圖案轉(zhuǎn)移設(shè)計,適用于半導(dǎo)體芯片、集成電路(IC)及微電子元件的前沿生產(chǎn)工藝。寧德潤恒自動化作為ASML授權(quán)供應(yīng)商,提供該設(shè)備的全球供應(yīng)及技術(shù)服務(wù)支持。
二、核心技術(shù)參數(shù)
1. 分辨率與工藝能力
○ 支持分辨率:≤ 7nm(極紫外光刻技術(shù),EUV)
○ 工藝節(jié)點(diǎn)覆蓋:5nm、7nm及以下先進(jìn)制程
○ 套刻精度(Overlay):≤ 1.5nm
2. 光源與曝光系統(tǒng)
○ 光源類型:極紫外(EUV,波長13.5nm)
○ 曝光方式:多模式(單次/多次曝光,支持DSA等)
○ 光源功率:≥ 250W(穩(wěn)定輸出)
3. 產(chǎn)能與效率
○ 晶圓處理速度:≥ 125片/小時(300mm晶圓)
○ 良品率:≥ 98%(標(biāo)準(zhǔn)工藝條件下)
○ 自動化集成:支持SEMI GEM300標(biāo)準(zhǔn)接口
4. 機(jī)械與控制系統(tǒng)
○ 工作臺精度:≤ 0.1μm(XYZ三軸)
○ 振動控制:主動減震系統(tǒng)(≤ 10nm振幅)
○ 環(huán)境要求:潔凈室等級ISO Class 1
三、應(yīng)用領(lǐng)域該設(shè)備主要應(yīng)用于:
● 邏輯芯片制造(CPU、GPU等高算力芯片)
● 存儲器生產(chǎn)(3D NAND、DRAM)
● 先進(jìn)封裝技術(shù)(Chiplet、2.5D/3D集成)
● 特殊工藝節(jié)點(diǎn)研發(fā)(如光子芯片、量子計算器件)
四、寧德潤恒自動化供應(yīng)優(yōu)勢
1. 庫存與交付
○ 中國大陸戰(zhàn)略庫存,縮短交貨周期至6-8周
○ 全球物流網(wǎng)絡(luò),支持FCA/CIF條款
2. 技術(shù)支持
○ ASML原廠認(rèn)證工程師團(tuán)隊,提供安裝調(diào)試與維護(hù)
○ 24/7遠(yuǎn)程監(jiān)控與故障響應(yīng)
3. 增值服務(wù)
○ 工藝優(yōu)化咨詢(結(jié)合客戶產(chǎn)線需求)
○ 備件本地化供應(yīng)(≥ 95%核心部件庫存)
結(jié)語ASML 4022.472.88412作為下一代光刻技術(shù)的代表,其納米級精度與高效產(chǎn)能助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)突破技術(shù)瓶頸。寧德潤恒自動化依托供應(yīng)鏈與技術(shù)服務(wù)優(yōu)勢,為全球客戶提供從設(shè)備交付到產(chǎn)線升級的全周期解決方案。
ASML 4022.472.88412阿斯麥




