產(chǎn)品詳情
ASML 4022.472.98345
ASML 4022.472.98345 設(shè)備簡介與參數(shù)說明
一、產(chǎn)品簡介ASML 4022.472.98345是荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備巨頭ASML公司研發(fā)的自動化組件,屬于其先進(jìn)制造系統(tǒng)關(guān)鍵模塊之一。該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體晶圓加工中的精密控制與檢測環(huán)節(jié),具備高穩(wěn)定性、低誤差特性,適用于先進(jìn)制程的光刻機(jī)集成。寧德潤恒自動化作為ASML授權(quán)合作伙伴,提供該設(shè)備的供應(yīng)、安裝調(diào)試及售后技術(shù)支持服務(wù)。
二、核心技術(shù)參數(shù)
1. 機(jī)械參數(shù)
○ 尺寸(參考值):XXX mm (長) × XXX mm (寬) × XXX mm (高)
○ 重量:約XXX kg
○ 精度等級:亞微米級(具體數(shù)值依據(jù)配置)
○ 材料:航空級鋁合金/不銹鋼復(fù)合結(jié)構(gòu)
2. 電氣參數(shù)
○ 供電要求:XXX V AC,XXX Hz
○ 功耗(典型值):XXX W
○ 接口標(biāo)準(zhǔn):SEMI S2/S8兼容,支持TCP/IP通訊協(xié)議
3. 性能參數(shù)
○ 運(yùn)動控制速度:大XXX mm/s(線性運(yùn)動),XXX rpm(旋轉(zhuǎn)運(yùn)動)
○ 重復(fù)定位精度:±XXX μm
○ 檢測分辨率:光學(xué)檢測單元可達(dá)XXX nm
○ 環(huán)境適應(yīng)性:工作溫度20±5°C,濕度≤45%
4. 軟件集成
○ 兼容ASML控制系統(tǒng)版本:Y.Z.X(需定制升級)
○ 支持API:開放接口,兼容第三方自動化平臺
三、應(yīng)用領(lǐng)域該設(shè)備主要應(yīng)用于:
● 半導(dǎo)體晶圓光刻機(jī)的精密對準(zhǔn)與傳輸系統(tǒng)
● 納米級封裝設(shè)備的運(yùn)動控制模塊
● 檢測儀器的核心執(zhí)行單元
ASML 4022.472.98345



