產(chǎn)品詳情
ASML 4022.472.98345
ASML 4022.472.98345 設(shè)備簡介與參數(shù)說明
一、產(chǎn)品簡介ASML 4022.472.98345是荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備巨頭ASML公司研發(fā)的自動化組件，屬于其先進(jìn)制造系統(tǒng)關(guān)鍵模塊之一。該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體晶圓加工中的精密控制與檢測環(huán)節(jié)，具備高穩(wěn)定性、低誤差特性，適用于先進(jìn)制程的光刻機(jī)集成。寧德潤恒自動化作為ASML授權(quán)合作伙伴，提供該設(shè)備的供應(yīng)、安裝調(diào)試及售后技術(shù)支持服務(wù)。
二、核心技術(shù)參數(shù)
1. 機(jī)械參數(shù)
○ 尺寸（參考值）：XXX mm (長) × XXX mm (寬) × XXX mm (高)
○ 重量：約XXX kg
○ 精度等級：亞微米級（具體數(shù)值依據(jù)配置）
○ 材料：航空級鋁合金/不銹鋼復(fù)合結(jié)構(gòu)
2. 電氣參數(shù)
○ 供電要求：XXX V AC，XXX Hz
○ 功耗（典型值）：XXX W
○ 接口標(biāo)準(zhǔn)：SEMI S2/S8兼容，支持TCP/IP通訊協(xié)議
3. 性能參數(shù)
○ 運(yùn)動控制速度：大XXX mm/s（線性運(yùn)動），XXX rpm（旋轉(zhuǎn)運(yùn)動）
○ 重復(fù)定位精度：±XXX μm
○ 檢測分辨率：光學(xué)檢測單元可達(dá)XXX nm
○ 環(huán)境適應(yīng)性：工作溫度20±5°C，濕度≤45%
4. 軟件集成
○ 兼容ASML控制系統(tǒng)版本：Y.Z.X（需定制升級）
○ 支持API：開放接口，兼容第三方自動化平臺
三、應(yīng)用領(lǐng)域該設(shè)備主要應(yīng)用于：
● 半導(dǎo)體晶圓光刻機(jī)的精密對準(zhǔn)與傳輸系統(tǒng)
● 納米級封裝設(shè)備的運(yùn)動控制模塊
● 檢測儀器的核心執(zhí)行單元
ASML 4022.472.98345
