產(chǎn)品詳情
ASML 4022.471.75823
ASML 4022.471.75823產(chǎn)品簡(jiǎn)介
ASML 4022.471.75823 是寧德潤(rùn)恒自動(dòng)化供應(yīng)的一款自動(dòng)化組件，專為半導(dǎo)體制造設(shè)備設(shè)計(jì)。該產(chǎn)品屬于精密控制系統(tǒng)模塊，適用于先進(jìn)的光刻機(jī)（如ASML極紫外（EUV）或深紫外（DUV）光刻設(shè)備），用于提升設(shè)備穩(wěn)定性、精度及生產(chǎn)效率。其核心功能包括實(shí)時(shí)監(jiān)控、數(shù)據(jù)處理與自動(dòng)化調(diào)節(jié)，確保半導(dǎo)體制造過(guò)程中的關(guān)鍵參數(shù)（如溫度、壓力、位置等）維持在納米級(jí)精度范圍內(nèi)。該組件具備高可靠性與兼容性，可無(wú)縫集成于現(xiàn)有ASML設(shè)備架構(gòu)，廣泛應(yīng)用于晶圓加工、微電子制造等技術(shù)領(lǐng)域。
技術(shù)參數(shù)
以下為ASML 4022.471.75823的主要技術(shù)規(guī)格：
1. 尺寸與接口
○ 物理尺寸：230mm × 150mm × 45mm
○ 通信接口：Ethernet/IP（支持10Gbps）、OPC UA、SECS/GEM
○ 電氣接口：IEC 61131-2（標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)控制信號(hào)）
2. 性能參數(shù)
○ 數(shù)據(jù)處理速率：≥5 GHz
○ 精度范圍：±0.5 nm（位置控制）、±0.1℃（溫度控制）
○ 響應(yīng)時(shí)間：≤10 μs（閉環(huán)控制）
3. 環(huán)境適應(yīng)性
○ 工作溫度：15℃~30℃（理想范圍），0℃~45℃（極限范圍）
○ 濕度要求：20%~80% RH（非冷凝）
○ 抗振等級(jí)：ISO 20653（Class 3，10Hz~2000Hz）
4. 電源與功耗
○ 供電電壓：24 VDC（±5%）
○ 大功耗：≤50 W（待機(jī)模式≤5 W）
5. 認(rèn)證與兼容性
○ 認(rèn)證：CE、ISO 13849（PLd）、SEMI S2-93
○ 軟件兼容：ASML SYS-5平臺(tái)、ASML Process Control System
ASML 4022.471.75823
