產(chǎn)品詳情
ASML 4022.636.58061真空傳感器
參數(shù)詳解與應用指南
ASML 4022.636.58061真空傳感器是一款高性能工業(yè)設備組件，專為精密真空環(huán)境檢測設計。本文將詳細介紹其核心參數(shù)、技術特性及適用場景，幫助用戶全面了解該傳感器的性能優(yōu)勢。
1. 核心參數(shù)與技術規(guī)格
型號：ASML 4022.636.58061 測量范圍：
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絕對壓力：10?3 mbar至1000 mbar（覆蓋高真空至粗真空范圍）
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相對壓力：0-100%大氣壓（可選配校準模式） 精度等級：
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高真空段（<10?2 mbar）：±0.5% FS（滿量程）
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中真空段（10?2至10 mbar）：±1% FS
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低真空段（>10 mbar）：±2% FS 響應時間：
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快速模式：≤1 ms（適用于動態(tài)壓力監(jiān)測）
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標準模式：≤5 ms（默認設置） 工作環(huán)境：
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溫度范圍：-40°C至85°C（寬溫域設計）
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防護等級：IP67（防塵防水） 電氣特性：
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供電電壓：24 VDC（±10%）
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輸出信號：4-20 mA模擬量 + RS485數(shù)字接口（MODBUS協(xié)議支持）
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功耗：≤2 W（靜態(tài)）
2. 技術亮點與優(yōu)勢
1.
多級校準算法：內(nèi)置分段線性補償，確保全量程壓力測量的一致性精度。
2.
抗干擾設計：EMC防護等級達EN 61000-6-2標準，適用于工業(yè)電磁環(huán)境。
3.
長壽命傳感單元：采用陶瓷膜片+濺射薄膜技術，抗腐蝕且耐用性≥10年。
4.
智能診斷功能：實時輸出壓力趨勢曲線及故障代碼（如過熱、零點漂移預警）。
3. 應用場景
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半導體制造：晶圓刻蝕設備的真空腔體壓力監(jiān)控
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醫(yī)療設備：MRI磁體真空系統(tǒng)與粒子加速器的壓力控制
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工業(yè)真空泵：閉環(huán)反饋系統(tǒng)優(yōu)化泵組效率
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科研儀器：質(zhì)譜儀、真空鍍膜機的精密壓力檢測
4. 安裝與維護注意事項
1.
安裝時需避免機械應力，推薦使用柔性連接管（附贈M12接頭）。
2.
定期校準周期建議每12個月一次，可使用ASML原廠校準工具套件。
3.
極端溫度環(huán)境（>70°C）需搭配散熱片或強制通風裝置。
結(jié)語
ASML 4022.636.58061真空傳感器憑借其寬量程、高精度及智能化設計，成為高端工業(yè)自動化領域的優(yōu)選解決方案。如需技術選型支持或參數(shù)驗證，可參考ASML官網(wǎng)文檔或聯(lián)系授權經(jīng)銷商獲取詳細測試報告。
