產(chǎn)品詳情
ASML 4022.656.52022荷蘭
ASML 4022.656.52022荷蘭參數(shù)與性能解析
產(chǎn)品概述ASML 4022.656.52022是寧德潤恒自動化供應的一款半導體制造設備核心組件，專為先進晶圓生產(chǎn)線設計。該設備集成ASML的光刻技術，具備納米級精度與產(chǎn)能，適用于7nm及以下制程的芯片制造。
核心參數(shù)
1.
分辨率：≤13nm（EUV技術）
2.
光源波長：13.5nm極紫外（EUV）光刻技術
3.
產(chǎn)能：≥200片/小時（標準晶圓）
4.
對準精度：≤2nm（全局套刻誤差）
5.
適用晶圓尺寸：300mm（兼容200mm）
6.
工作功率：80kW（峰值功率）
7.
環(huán)境要求：Class 1潔凈室標準（ISO 14644-1）
技術優(yōu)勢
1.
EUV光刻技術：采用極紫外光源，突破傳統(tǒng)光學衍射極限，實現(xiàn)更高分辨率與更小線寬。
2.
雙工件臺：集成動態(tài)對準系統(tǒng)，確保多層曝光套刻誤差≤3nm。
3.
智能化運維：內置AI算法實時監(jiān)測設備狀態(tài)，預測性維護降低宕機風險。
4.
模塊化設計：支持快速升級與維護，兼容ASML新工藝平臺。
應用場景
●
邏輯芯片制造：適用于CPU、GPU及先進SoC的7nm/5nm節(jié)點量產(chǎn)
●
存儲芯片生產(chǎn)：滿足3D NAND閃存的刻蝕需求
●
封裝技術：支持先進封裝（如Chiplet）的光刻工藝
服務支持寧德潤恒自動化提供全套解決方案：
●
設備安裝與調試
●
24/7遠程技術支持
●
原廠認證備件供應
●
工藝優(yōu)化與培訓服務
總結ASML 4022.656.52022憑借EUV技術的突破性性能與智能化運維體系，為半導體廠商提供、穩(wěn)定的先進制程解決方案。
ASML 4022.656.52022荷蘭
ASML 4022.656.52022荷蘭參數(shù)與性能解析
產(chǎn)品概述ASML 4022.656.52022是寧德潤恒自動化供應的一款半導體制造設備核心組件，專為先進晶圓生產(chǎn)線設計。該設備集成ASML的光刻技術，具備納米級精度與產(chǎn)能，適用于7nm及以下制程的芯片制造。
核心參數(shù)
1.
分辨率：≤13nm（EUV技術）
2.
光源波長：13.5nm極紫外（EUV）光刻技術
3.
產(chǎn)能：≥200片/小時（標準晶圓）
4.
對準精度：≤2nm（全局套刻誤差）
5.
適用晶圓尺寸：300mm（兼容200mm）
6.
工作功率：80kW（峰值功率）
7.
環(huán)境要求：Class 1潔凈室標準（ISO 14644-1）
技術優(yōu)勢
1.
EUV光刻技術：采用極紫外光源，突破傳統(tǒng)光學衍射極限，實現(xiàn)更高分辨率與更小線寬。
2.
雙工件臺：集成動態(tài)對準系統(tǒng)，確保多層曝光套刻誤差≤3nm。
3.
智能化運維：內置AI算法實時監(jiān)測設備狀態(tài)，預測性維護降低宕機風險。
4.
模塊化設計：支持快速升級與維護，兼容ASML新工藝平臺。
應用場景
●
邏輯芯片制造：適用于CPU、GPU及先進SoC的7nm/5nm節(jié)點量產(chǎn)
●
存儲芯片生產(chǎn)：滿足3D NAND閃存的刻蝕需求
●
封裝技術：支持先進封裝（如Chiplet）的光刻工藝
服務支持寧德潤恒自動化提供全套解決方案：
●
設備安裝與調試
●
24/7遠程技術支持
●
原廠認證備件供應
●
工藝優(yōu)化與培訓服務
總結ASML 4022.656.52022憑借EUV技術的突破性性能與智能化運維體系，為半導體廠商提供、穩(wěn)定的先進制程解決方案。
ASML 4022.656.52022荷蘭
