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ASML 4022.472.42583固態(tài)激光器模
ASML 4022.472.42583固態(tài)激光器模
ASML 4022.472.42583固態(tài)激光器模參數(shù)詳解ASML 4022.472.42583固態(tài)激光器模塊是半導體制造設備中的一款重要組件，其優(yōu)越的性能和穩(wěn)定的輸出使其在微電子行業(yè)中備受青睞。以下是該激光器模塊的詳細參數(shù)介紹：基本參數(shù)型號：ASML 4022.472.42583類型：固態(tài)激光器波長：355 nm功率范圍：50 W 至 150 W（可根據具體需求調節(jié)）工作電壓：220 VAC ±10%工作電流：20 A 至 30 A尺寸：450 mm × 350 mm × 200 mm（長 × 寬 × 高）重量：約 25 kg光學性能參數(shù)光束質量：M2 < 1.2，確保高質量的光束聚焦效果光束發(fā)散角：< 0.5 mrad光斑直徑：在聚焦位置處可達到 < 20 μm偏振態(tài)：線偏振，偏振度 > 99%穩(wěn)定性：功率穩(wěn)定性優(yōu)于 ±2% RMS，長時間工作下保持穩(wěn)定輸出熱管理參數(shù)冷卻方式：水冷系統(tǒng)，確保激光器在高功率工作下保持低溫運行冷卻液溫度范圍：15°C 至 25°C冷卻液流量：≥ 5 L/min熱耗散功率：約 1.5 kW控制與接口控制方式：通過數(shù)字控制接口實現(xiàn)遠程控制和監(jiān)控通信接口：以太網、RS-232 和 GPIB 接口，便于與其他設備集成觸發(fā)模式：支持內部觸發(fā)和外部觸發(fā)，靈活適應不同應用場景反饋機制：內置功率監(jiān)測和反饋系統(tǒng)，實時調整輸出穩(wěn)定性環(huán)境要求工作溫度：15°C 至 35°C工作濕度：20% 至 80% RH（無凝露）存儲溫度：-20°C 至 60°C存儲濕度：10% 至 90% RH（無凝露）安全特性防護等級：IP54，防塵防水安全認證：符合 CE、FDA 和 IEC 60825-1 標準，確保使用安全保護機制：過溫保護、過流保護、欠壓保護等多重保護機制其他特性使用壽命：大于 20,000 小時，減少更換頻率，提高設備利用率維護需求：模塊化設計，便于拆卸和維護，降低維護成本ASML 4022.472.42583固態(tài)激光器模塊憑借其穩(wěn)定的性能、高效的光束質量和可靠的安全特性，廣泛應用于光刻機、半導體檢測設備以及其他高精度加工設備中。通過詳細了解其參數(shù)，用戶可以更好地將該激光器模塊應用于實際生產，提高生產效率和產品質量。
