產(chǎn)品詳情
ASML 4022.455.55891
ASML 4022.455.55891
參數(shù)詳解
ASML 4022.455.55891 是荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商 ASML 生產(chǎn)的一款先進(jìn)光刻機(jī)的重要組件。以下是該組件的主要參數(shù)介紹：
基本參數(shù)
●
型號(hào)：ASML 4022.455.55891
●
類型：光刻機(jī)核心組件
●
適用機(jī)型：主要用于 ASML 的高端光刻設(shè)備，如 EUV（極紫外光刻）系統(tǒng)
●
尺寸：約 500mm x 400mm x 300mm（具體尺寸可能因版本略有不同）
●
重量：約 35 kg
技術(shù)規(guī)格
●
光源波長(zhǎng)：支持 13.5 nm 極紫外光（EUV），確保高分辨率圖案轉(zhuǎn)移
●
分辨率：支持 7 nm 及以下工藝節(jié)點(diǎn)，滿足先進(jìn)芯片制造需求
●
對(duì)準(zhǔn)精度：具有亞納米級(jí)對(duì)準(zhǔn)精度，確保芯片圖案的高精度復(fù)制
●
生產(chǎn)效率：每小時(shí)可處理超過 125 片晶圓，提高制造效率
性能特點(diǎn)
●
高穩(wěn)定性：采用先進(jìn)材料和精密工藝制造，確保長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行的穩(wěn)定性
●
低能耗：優(yōu)化設(shè)計(jì)，降低能耗，符合現(xiàn)代綠色制造理念
●
智能控制：集成智能控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作和實(shí)時(shí)監(jiān)控，提高生產(chǎn)效率和可靠性
環(huán)境要求
●
工作溫度：20°C ± 2°C，確保設(shè)備在穩(wěn)定溫度下運(yùn)行
●
濕度范圍：40% - 60% 相對(duì)濕度，避免濕度過高或過低對(duì)設(shè)備造成損害
●
潔凈度：ISO 5 級(jí)潔凈室環(huán)境，防止塵埃和雜質(zhì)對(duì)光刻過程的影響
兼容性與維護(hù)
●
兼容性：與 ASML 的多種光刻系統(tǒng)軟件和硬件兼容，便于集成和升級(jí)
●
維護(hù)要求：定期校準(zhǔn)和維護(hù)，建議由專業(yè)人員進(jìn)行，以確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行
應(yīng)用領(lǐng)域
ASML 4022.455.55891 組件廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別是在生產(chǎn)高性能計(jì)算芯片、移動(dòng)設(shè)備處理器和存儲(chǔ)芯片等先進(jìn)芯片中發(fā)揮重要作用。其高精度和高效率確保了芯片制造商能夠滿足不斷增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求和技術(shù)進(jìn)步。
通過以上參數(shù)介紹，可以看出 ASML 4022.455.55891 是一款性能卓越的光刻機(jī)組件，為現(xiàn)代半導(dǎo)體制造業(yè)提供了可靠的技術(shù)支持。q聯(lián)系人：吳經(jīng)理 手機(jī)：18596688429（微信同號(hào)）郵箱：841825244@qq.com
ASML 4022.455.55891
