產(chǎn)品詳情
ASML 4022.470.6291進(jìn)口
ASML 4022.470.6291進(jìn)口
ASML 4022.470.6291進(jìn)口
參數(shù)詳解
ASML 4022.470.6291是ASML公司生產(chǎn)的一款關(guān)鍵設(shè)備組件，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。以下是該組件的主要參數(shù)介紹：
基本參數(shù)
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型號(hào)：ASML 4022.470.6291
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類型：光學(xué)系統(tǒng)組件
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尺寸：約320mm x 240mm x 150mm（具體尺寸可能因版本而異）
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重量：約5.2公斤
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工作電壓：24V DC
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功耗：最大50W
光學(xué)性能
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波長(zhǎng)范圍：193nm（深紫外光）
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數(shù)值孔徑：0.93
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分辨率：支持45nm及以下工藝節(jié)點(diǎn)
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透過(guò)率：大于95%
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光學(xué)均勻性：優(yōu)于99.5%
環(huán)境要求
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工作溫度：20°C至25°C
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存儲(chǔ)溫度：-20°C至60°C
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濕度范圍：20%至80% RH（無(wú)凝露）
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潔凈度等級(jí)：ISO Class 5（相當(dāng)于舊標(biāo)準(zhǔn)的Class 100）
機(jī)械性能
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抗震性：可承受最大1.0G的加速度
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安裝方式：模塊化安裝，支持快速更換
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連接接口：標(biāo)準(zhǔn)光纖接口及電氣接口
兼容性
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設(shè)備兼容：主要適用于ASML的TWINSCAN系列光刻機(jī)，具體型號(hào)包括TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:1950i等。
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軟件兼容：支持ASML的YieldStar、ASML Brion等軟件平臺(tái)，確保無(wú)縫集成和高效運(yùn)行。
其他特性
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冷卻系統(tǒng)：內(nèi)置高效冷卻系統(tǒng)，確保長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行
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壽命：設(shè)計(jì)使用壽命超過(guò)10,000小時(shí)
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維護(hù)要求：定期清潔和校準(zhǔn)，建議每6個(gè)月進(jìn)行一次全面維護(hù)
ASML 4022.470.6291憑借其卓越的光學(xué)性能、穩(wěn)定的機(jī)械特性以及高度的兼容性，成為半導(dǎo)體制造過(guò)程中不可或缺的一部分。其高分辨率和大透過(guò)率確保了芯片制造的高精度和高效率，為半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展提供了重要支持。
