產(chǎn)品詳情
ASML 4022.428.11000
ASML 4022.428.11000
ASML 4022.428.11000
設備參數(shù)詳解
ASML 4022.428.11000是ASML公司生產(chǎn)的一款先進的半導體制造設備，專為高精度芯片制造而設計。以下是該設備的詳細參數(shù)介紹：
基本參數(shù)
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型號：ASML 4022.428.11000
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類型：光刻機
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制造商：ASML（荷蘭）
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適用工藝：極紫外（EUV）光刻技術
技術規(guī)格
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光源波長：13.5納米，采用極紫外（EUV）光源，能夠?qū)崿F(xiàn)更高的分辨率和更小的線寬。
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分辨率：支持7納米及以下工藝節(jié)點的芯片制造，具備出色的圖案分辨率能力。
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套刻精度：具有極高的套刻精度，確保多層圖案的對準誤差最小化。
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生產(chǎn)效率：每小時可處理多達125片晶圓，顯著提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)出量。
光學系統(tǒng)
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鏡頭類型：采用高數(shù)值孔徑（NA）鏡頭，確保光刻過程中的高成像質(zhì)量。
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數(shù)值孔徑（NA）：高達0.33，有助于提升分辨率和焦深。
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照明系統(tǒng)：配備先進的照明系統(tǒng)，提供均勻且穩(wěn)定的光源分布。
機械與物理參數(shù)
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尺寸：設備體積龐大，長×寬×高約為20米×5米×4.5米，需安裝在特定的潔凈室環(huán)境中。
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重量：約180噸，需要穩(wěn)固的基礎設施來支撐。
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功耗：運行功率較高，以確保設備的高效穩(wěn)定運行。
控制系統(tǒng)
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自動化程度：高度自動化，集成了先進的控制系統(tǒng)和軟件，實現(xiàn)智能化操作和監(jiān)控。
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數(shù)據(jù)處理能力：具備強大的數(shù)據(jù)處理能力，能夠快速處理復雜的圖案數(shù)據(jù)。
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接口：支持多種通信接口，便于與其他設備和系統(tǒng)進行集成。
環(huán)境要求
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溫度控制：需在恒溫環(huán)境下運行，溫度波動范圍需控制在±0.1°C以內(nèi)。
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濕度控制：濕度需保持在低水平，以確保設備的穩(wěn)定運行和防止靜電干擾。
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潔凈度：要求極高的潔凈度等級，通常在ISO Class 1級別。
安全與維護
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安全防護：設備配備了完善的安全防護系統(tǒng)，包括緊急停止按鈕、安全防護欄等，確保操作人員的安全。
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維護保養(yǎng)：需要定期進行維護和保養(yǎng)，以確保設備的長期穩(wěn)定運行和延長使用壽命。
ASML 4022.428.11000作為一款頂尖的光刻設備，其卓越的性能和參數(shù)指標為半導體制造業(yè)的發(fā)展提供了強有力的支持。通過深入了解這些參數(shù)，可以更好地理解該設備在芯片制造過程中的重要性和優(yōu)勢。
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