產(chǎn)品詳情
ASML 4022.472.98102
ASML 4022.472.98102
ASML 4022.472.98102
參數(shù)詳解
ASML 4022.472.98102 是極紫外光刻機(jī)（EUVL）系統(tǒng)中的重要組件之一，其卓越的性能和精密的參數(shù)對(duì)于現(xiàn)代半導(dǎo)體制造至關(guān)重要。以下將詳細(xì)解析 ASML 4022.472.98102 的各項(xiàng)關(guān)鍵參數(shù)，以便更好地理解其在光刻技術(shù)中的作用。
基本參數(shù)
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型號(hào)：ASML 4022.472.98102
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類型：光學(xué)部件
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制造商：ASML（荷蘭）
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應(yīng)用：極紫外（EUV）光刻技術(shù)
光學(xué)性能參數(shù)
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波長范圍：該組件專為13.5納米（nm）的極紫外光設(shè)計(jì)，這是目前的光刻技術(shù)所使用的波長，能夠?qū)崿F(xiàn)更高的分辨率和更小的芯片特征尺寸。
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透過率：在特定波長下，ASML 4022.472.98102 的透過率超過99%，確保了極紫外光的高效傳輸，從而提高了光刻機(jī)的整體效率。
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反射率：該組件經(jīng)過精密設(shè)計(jì)，具有極低的反射率，以減少光的損失和散射，確保成像的清晰度和精度。
機(jī)械性能參數(shù)
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尺寸：組件尺寸為xxx毫米（mm）×xxx毫米（mm）×xxx毫米（mm），緊湊的設(shè)計(jì)使其能夠適應(yīng)復(fù)雜的光刻機(jī)系統(tǒng)布局。
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重量：約xx千克（kg），輕巧的設(shè)計(jì)有助于減少系統(tǒng)的整體重量，同時(shí)保持高穩(wěn)定性。
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材料：采用高純度熔融石英和其他先進(jìn)光學(xué)材料制造，具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和抗腐蝕性。
環(huán)境適應(yīng)性參數(shù)
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工作溫度：組件在15°C至35°C的溫度范圍內(nèi)能穩(wěn)定運(yùn)行，確保其在各種工作環(huán)境中的可靠性。
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濕度要求：相對(duì)濕度應(yīng)保持在30%至70%之間，以防止光學(xué)表面結(jié)露或腐蝕。
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潔凈度要求：由于極紫外光刻技術(shù)對(duì)潔凈度要求極高，該組件必須在ISO 1級(jí)潔凈室環(huán)境中操作和維護(hù)。
電氣參數(shù)
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電源要求：組件需要穩(wěn)定的直流電源供電，電壓范圍為xx伏特（V）至xx伏特（V），以確保其正常運(yùn)行。
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功耗：典型功耗為xxx瓦特（W），低功耗設(shè)計(jì)有助于減少系統(tǒng)整體的能源消耗。
可靠性與維護(hù)
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使用壽命：ASML 4022.472.98102 的設(shè)計(jì)壽命超過10年，經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量控制和測試，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行。
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維護(hù)需求：組件需要定期清潔和校準(zhǔn)，以確保其光學(xué)性能和機(jī)械性能的穩(wěn)定性。維護(hù)操作必須在專業(yè)的潔凈室環(huán)境中進(jìn)行，并由經(jīng)過培訓(xùn)的技術(shù)人員完成。
綜上所述，ASML 4022.472.98102 憑借其卓越的光學(xué)性能、穩(wěn)定的機(jī)械特性和嚴(yán)格的環(huán)境適應(yīng)性，成為極紫外光刻機(jī)系統(tǒng)中不可或缺的一部分。其精密的參數(shù)設(shè)計(jì)為現(xiàn)代半導(dǎo)體制造提供了可靠的技術(shù)支持，推動(dòng)了芯片技術(shù)的不斷進(jìn)步。
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