產(chǎn)品詳情
ASML 4022.472.51862
ASML 4022.472.51862
參數(shù)詳解
ASML 4022.472.51862是一款高性能的光刻機零部件，對于光刻機的正常運行和高效生產(chǎn)起著至關重要的作用。以下是該部件的主要參數(shù)介紹：
基本參數(shù)
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型號：ASML 4022.472.51862
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類型：光刻機零部件
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制造商：ASML（荷蘭）
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適用機型：主要適用于ASML的先進光刻設備，如EUV（極紫外光刻）和DUV（深紫外光刻）系統(tǒng)。
技術規(guī)格
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尺寸：約 320mm x 240mm x 150mm（長x寬x高），具體尺寸可能因版本略有不同。
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重量：約 12 公斤
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工作電壓：24V DC
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電流消耗：最大 2.5A
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工作溫度范圍：15°C 至 35°C
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存儲溫度范圍：-20°C 至 60°C
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濕度要求：20% 至 80% 相對濕度（無凝露）
功能特性
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高精度：該部件具有極高的精度，確保光刻過程中的圖像對準和曝光質量。
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可靠性：采用高質量材料和先進的制造工藝，具備出色的可靠性和穩(wěn)定性，適用于長時間連續(xù)運行。
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兼容性：專為ASML的高端光刻設備設計，具備良好的兼容性和互換性，便于維護和升級。
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數(shù)據(jù)處理能力：內(nèi)置高速數(shù)據(jù)處理模塊，支持快速數(shù)據(jù)傳輸和處理，提高生產(chǎn)效率。
安裝與維護
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安裝要求：必須由經(jīng)過專業(yè)培訓的技術人員進行安裝，確保安裝環(huán)境和條件符合設備要求。
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維護周期：建議每運行5000小時進行一次全面維護，包括清潔、校準和功能測試。
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保養(yǎng)注意事項：避免灰塵和雜質進入部件內(nèi)部，使用專用清潔工具和材料進行維護。
應用領域
ASML 4022.472.51862主要應用于半導體制造領域，特別是在先進芯片的生產(chǎn)過程中，為光刻工藝提供關鍵支持。其高精度和穩(wěn)定性使得該部件在7納米及以下工藝節(jié)點中表現(xiàn)優(yōu)異。
總結
ASML 4022.472.51862作為ASML光刻設備的重要組成部分，憑借其高精度、可靠性和良好的兼容性，為半導體制造提供了堅實的技術保障。了解其參數(shù)和特性有助于更好地使用和維護該設備，確保生產(chǎn)過程的順利進行。q聯(lián)系人：吳經(jīng)理 手機：18596688429（微信同號）郵箱：841825244@qq.com
ASML 4022.472.51862
