產(chǎn)品詳情
ASML 4022.486.55124
ASML 4022.486.55124
參數(shù)詳解
ASML 4022.486.55124 是一款高性能的光刻機(jī)部件，它在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中發(fā)揮著重要作用。以下是該部件的主要參數(shù)介紹：
基本參數(shù)
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型號：ASML 4022.486.55124
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類型：光刻機(jī)核心組件
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適用設(shè)備：主要應(yīng)用于ASML的極紫外（EUV）光刻機(jī)
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尺寸：約 45cm x 35cm x 25cm（具體尺寸可能因版本略有不同）
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重量：約 20 公斤
技術(shù)規(guī)格
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波長范圍：支持極紫外光波長，通常在 13.5nm 左右，以實現(xiàn)高分辨率光刻。
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分辨率：支持先進(jìn)制程節(jié)點，如 7nm、5nm 及以下，確保芯片的高精度制造。
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對準(zhǔn)精度：具備亞納米級的對準(zhǔn)精度，以保證圖案的準(zhǔn)確轉(zhuǎn)移。
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光源功率：提供穩(wěn)定的高功率光源輸出，確保光刻過程的效率和穩(wěn)定性。
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工作溫度：通常在 20°C 至 25°C 之間，要求嚴(yán)格的溫控環(huán)境以確保性能。
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冷卻系統(tǒng)：集成高效冷卻系統(tǒng)，以維持設(shè)備在工作狀態(tài)。
性能特點
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高效率：該部件通過優(yōu)化設(shè)計，提高了光刻速度和生產(chǎn)效率。
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高穩(wěn)定性：采用先進(jìn)材料和工藝，具有長時間穩(wěn)定運行的能力，減少設(shè)備維護(hù)頻率。
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低能耗：在保持高性能的同時，優(yōu)化了能源消耗，符合現(xiàn)代綠色制造的要求。
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兼容性：與ASML的EUV光刻機(jī)系統(tǒng)高度兼容，確保系統(tǒng)的整體協(xié)調(diào)性和一致性。
應(yīng)用領(lǐng)域
ASML 4022.486.55124 主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造過程中的光刻工藝，特別是在先進(jìn)邏輯芯片和存儲芯片的生產(chǎn)中。它的高精度和高效率使得芯片制造商能夠生產(chǎn)出更小、更快、功耗更低的芯片，滿足不斷發(fā)展的市場需求。
維護(hù)保養(yǎng)
為了確保該部件的長期穩(wěn)定運行，需要定期進(jìn)行維護(hù)和校準(zhǔn)。建議由專業(yè)技術(shù)人員進(jìn)行操作，使用原廠提供的清潔工具和校準(zhǔn)設(shè)備。此外，存放環(huán)境應(yīng)保持干燥、潔凈，避免灰塵和潮濕對部件性能造成影響。
綜上所述，ASML 4022.486.55124 是一款高性能的光刻機(jī)核心組件，具備先進(jìn)的技術(shù)參數(shù)和卓越的性能特點，為半導(dǎo)體制造提供了可靠的支持。
ASML 4022.486.55124
