主營產品：升華儀，管式爐，PECVD,CVD
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| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | BEQ | 型號 | BTF-1200C-RF-II-210 |
| 類型 | 其他 | 安裝方式 | 其他 |
| 加工定制 | 是 | ||
技術參數
|
真空腔室 |
Φ100*120mm |
|
石英坩堝尺寸 |
Φ90*110 |
|
最大可放坩堝直徑 |
Φ90 |
|
極限真空 |
10-2Pa |
|
抽氣時間 |
≤20min |
|
使用溫度 |
80-600°C |
|
功率 |
1KW |
|
開啟方式 |
手動打開上蓋 |
|
內膽材質 |
石英 |
|
攪拌機材質 |
不銹鋼聚四氟組合 |
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