產(chǎn)品詳情
寒武紀技術(shù)系列真空等離子處理設備為單機式等離子表面處理設備，具有基材表面活化、去膠、清洗等效果，常用于貼附、粘膠、印刷、絲印、焊接等工序前預處理，主要應用領域有半導體、LED、汽車制造、3C電子、電子線路板、生物醫(yī)療等。
如下圖為設備外形圖：
真空等離子清洗機原理：在密封腔室中，設置兩個電極形成電磁場（電容耦合放電），用真空泵實現(xiàn)一定程度的真空環(huán)境，隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離越來越長，受磁場作用，發(fā)生碰撞而形成等離子體，同時會發(fā)生輝光。等離子體在電磁場空間內(nèi)運動，并轟擊被處理產(chǎn)品表面，伴隨一定的粒子件的結(jié)合和分解，從而達到產(chǎn)品表面處理、清洗、刻蝕等效果。
設備主要參數(shù):
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進電需求 |
單相220V/AC,50-60Hz |
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控制操作 |
PLC+HMI |
三菱+威綸通 |
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射頻頻率 |
13.56MHz |
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射頻功率 |
Max 300W，600W，1000W |
選配 |
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真空泵 |
雙極旋片式真空油泵 |
可選配干泵 |
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真空泵抽速 |
≥60m³/h |
可選配 |
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真空腔體材質(zhì) |
不銹鋼316 |
陶瓷絕緣 |
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真空保壓 |
＜20Pa/min |
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工作真空度 |
5-100Pa可設 |
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工藝氣體通道 |
標配2路（氧氣和氬氣，其他氣體可定制） |
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氣體質(zhì)量流量計 |
MFC：0-200sccm |
標配 |
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設備極限真空度 |
≤3Pa |
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報警功能 |
工藝氣體氣壓報警、RF功率報警、壓縮空氣氣壓報警、工藝氣體流量報警、相序報警、真空泵異常報警等（屏幕顯示及三色燈聲光報警） |
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參數(shù)配方 |
可自行設置及保存調(diào)用參數(shù)配方，配方包含氣體流量、RF功率、工作真空度、等離子處理時間等參數(shù)，可保存配方≥50條 |
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監(jiān)控功能 |
實時RF功率、真空度、氣體流量、等離子處理時間等 |
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電極層數(shù) |
標配五層電極，電極間距40mm |
可根據(jù)客戶需求定制 |
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有效處理層數(shù) |
標配托盤4層 |
可定制 |
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有效處理面積 |
可定制 |
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設備治具 |
標配鋼絲網(wǎng)托盤，可定制 |
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放電方式 |
CCP（電容耦合放電） |
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外部接氣 |
氣壓≥0.6MPa，外徑6mmPU軟管 |
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設備故障率 |
≤1% |
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設備功能
本設備為等離子表面處理設備，專注于各類產(chǎn)品基材表面的清潔、活化及表面張力的提升。設備具有完善的真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及人機界面、進氣系統(tǒng)、等離子體發(fā)生系統(tǒng)、高真空密封腔室、鈑金框架等，可以實現(xiàn)高真空環(huán)境下的等離子體發(fā)生，精準控制各類特種氣體進量，進而實現(xiàn)多種活性基團、粒子等對基材表面的精密處理。
設備一般運行流程如下：真空等離子處理設備主要包括等離子發(fā)生器、真空泵、真空腔體，輸送管路等。在等離子體處理時，首先利用真空泵將真空腔體內(nèi)的空氣抽至設定的工作真空度，然后通過輸送管路將工作氣體輸入正空腔體內(nèi)部，當氣體含量達到設定要求后等離子發(fā)生器啟動，通過真空腔體內(nèi)部的上下正負電極之間放電將工作氣體電離從而產(chǎn)生Plasma，然后對樣品表面進行處理，來達到改變表面活性和清潔等目的。
